MISC

2000年

シリコン成長各期における点欠陥の平衡濃度

真空

棚橋克人
菊池通真
井上直久
溝川悠介

巻: 43
号: 3
開始ページ: 205
終了ページ: 208
DOI: 10.3131/jvsj.43.205

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DOI: https://doi.org/10.3131/jvsj.43.205
CiNii Articles: http://ci.nii.ac.jp/naid/10004561531

ID情報

DOI : 10.3131/jvsj.43.205
ISSN : 0559-8516
ISSN : 1880-9413
CiNii Articles ID : 10004561531

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