井上尚三 (Shozo Inoue) - マイポータル

基本情報

学位: 工学博士(大阪大学)

J-GLOBAL ID: 200901074234127570
researchmap会員ID: 1000057685

研究キーワード

研究分野

ナノテク・材料 / 材料加工、組織制御 /

経歴

2025年4月 - 現在

兵庫県立大学, 工学研究科, 特任教授
2004年4月 - 2025年3月

兵庫県立大学, 工学研究科, 教授
2003年10月 - 2004年3月

姫路工業大学, 工学部, 教授
1998年4月 - 2003年9月

姫路工業大学, 工学部, 助教授
1996年10月 - 1998年3月

姫路工業大学, 工学部, 講師
1987年4月 - 1996年9月

姫路工業大学, 工学部, 助手
1994年4月 - 1995年3月

英国ラフバラ大学, 物理学科, 客員研究員

学歴

1984年4月 - 1987年4月

大阪大学, 工学研究科, 精密工学専攻博士後期課程
1982年4月 - 1984年3月

大阪大学, 工学研究科, 精密工学専攻博士前期課程
1978年4月 - 1982年3月

大阪大学, 工学部, 精密工学科

委員歴

論文

194

Deposition of W-C films by dual source dc magnetron sputtering

Shozo Inoue, Naoto Morikawa, Akira Heya, Takahiro Namazu

Proceedings of 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE2022, Nara) C132 2022年11月査読有り
二源スパッタリング法によるW-C薄膜の作製

森川直人, 分銅亮介, 部家彰, 生津資大, 井上尚三

2022年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 221-222 2022年9月
SUS304ステンレス鋼スパッタ薄膜のCu薄膜上での成長相と成長形態

朝田昂大, 大路利菜, 井上尚三

2022年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 219-220 2022年9月
Cathodoluminescence Spectroscopic Stress Analysis for Silicon Oxide Film and Its Damage Evaluation

S. Kammachi, Y. Goshima, N. Goami, N. Yamashita, S. Kakinuma, K. Nishikata, N. Naka, S. Inoue, T. Namazu

Materials 13 4490-8 pages 2020年査読有り
Effect of deposition condition on the crystal phase of 18-8 stainless steel films prepared by dc magnetron sputtering

Shozo Inoue, Yu Fujiwara, Najami Zahira, Naoki Umada

Proceedings of the 15th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP2019) 188-190 2019年7月査読有り
Effect of oxygen content in SiOx layer on the self-propagating exothermic reaction behavior of Ti/SiOx multilayer films

Shozo Inoue, Mitsuyoshi Mizutani, Keita Inoue, Keisuke Yoshiki, Takahiro Namazu

Proceedings of the 14th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP2017) 79-82 2017年7月査読有り
Comparison of mechanical characteristics of focused ion beam fabricated silicon nanowires

Ginnosuke Ina, Tatsuya Fujii, Takahiro Kozeki, Eri Miura, Shozo Inoue, Takahiro Namazu

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 56(6) 06GN17-6 pages 2017年6月査読有り
Influence of gallium ion beam acceleration voltage on the bend angle of amorphous silicon cantilevers

Takahiro Kozeki, Hoang-Phuong Phan, Dzung Viet Dao, Shozo Inoue, Takahiro Namazu

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 55(6) 06GL02-5 pages 2016年6月査読有り
Shape control of self-organized porous silica submicron particles and their strength evaluation

Keita Kiyohara, Keita Inoue, Shozo Inoue, Takahiro Namazu

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 55(6) 06GP12-6 pages 2016年6月査読有り
Influence of 700 degrees C vacuum annealing on fracture behavior of micro/nanoscale focused ion beam fabricated silicon structures

Yoshiharu Goshima, Tatsuya Fujii, Shozo Inoue, Takahiro Namazu

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 55(6) 06GL03-6 pages 2016年6月査読有り
Influences of Specimen Size and Temperature on Viscoelastic Tensile Properties of SU-8 Photoresist Films

Takahiro Namazu, Kenichi Takio, Shozo Inoue

JOURNAL OF ENGINEERING MATERIALS AND TECHNOLOGY-TRANSACTIONS OF THE ASME 138(2) 021002-5 pages 2016年4月査読有り
Effect of Vacuum Annealing on Tensile Mechanical Characteristics of Au Bonding Wires

Akio Takagi, Takaaki Kato, Shugo Miyake, Shozo Inoue, Takahiro Namazu

SENSORS AND MATERIALS 28(2) 163-171 2016年査読有り
Mechanical Reliability of Reactively Alloyed NiAl as a Structural Material

Takahiro Namazu, Koichi Kuwahara, Masayuki Fujii, Shunsuke Kanetsuki, Shugo Miyake, Shozo Inoue

SENSORS AND MATERIALS 28(2) 141-152 2016年査読有り
Design and Development of Electrostatically Driven Uniaxial Tensile Test Device for Silicon Nanowires

Tatsuya Fujii, Koichi Sudoh, Shozo Inoue, Takahiro Namazu

SENSORS AND MATERIALS 28(2) 89-102 2016年査読有り
Importance of Bonding Atmosphere for Mechanical Reliability of Reactively Bonded Solder Joints

Shugo Miyake, Kohei Ohtani, Shozo Inoue, Takahiro Namazu

JOURNAL OF ENGINEERING MATERIALS AND TECHNOLOGY-TRANSACTIONS OF THE ASME 138(1) 011006-7 pages 2016年1月査読有り
MEMS引張試験技術による3C-SiC薄膜由来ナノワイヤの機械特性評価

田中浩介, Dao Viet Dzung, 生津資大, 井上尚三

精密工学会学術講演会講演論文集 2016 723-724 2016年
PLASTIC RESHAPING TECHNIQUE FOR SILICON ORIGAMI

Takahiro Kozeki, Shozo Inoue, Takahiro Namazu

2016 IEEE 29TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) 455-457 2016年査読有り
FINELY FORMED POROUS SILICA NANOPARTICLES AND THEIR STRENGTH EVALUATION

Keita Inoue, Keita Kiyohara, Shozo Inoue, Takahiro Namazu

2016 IEEE 29TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) 532-534 2016年査読有り
Influences of Exothermic Reactive Layer and Metal Interlayer on Fracture Behavior of Reactively Bonded Solder Joints

Takahiro Namazu, Kohei Ohtani, Shozo Inoue, Shugo Miyake

JOURNAL OF ENGINEERING MATERIALS AND TECHNOLOGY-TRANSACTIONS OF THE ASME 137(3) 031011-7 pages 2015年7月査読有り
合金ターゲットを用いて作製したスパッタZrCuNiAl金属ガラス薄膜

井上尚三, 船越政伸, 清水実結, 吉木啓介, 生津資大

精密工学会誌 81(3) 276-280 2015年査読有り

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MISC

低エネルギイオン衝撃がスパッタ金属薄膜(Ti,Hf,Cr,W)の成長におよぼす影響

井上達裕, 永井晋平, 永井晋平, 井上尚三

精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM) 2025 2025年
スパッタTi薄膜の成長形態におよぼす成膜条件の影響

永井晋平, 村上大志, 多田あずみ, 井上尚三

2024年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 672-673 2024年3月最終著者
スパッタTi薄膜の成長におよぼす低エネルギイオン衝撃の影響

井上尚三, 井上達裕, 永井晋平

精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM) 2024 2024年
二源スパッタリング法によるTi-C薄膜の作製

岡田響, 森川直人, 部家彰, 井上尚三

2023年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 668-669 2023年9月最終著者
Cuバッファ層上でのγ相SUS304ステンレス鋼スパッタ薄膜の成長形態

井上達裕, 朝田昂大, 井上尚三

2023年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 664-665 2023年9月最終著者
OS1420-430 静電駆動型MEMSデバイスによる犠牲酸化SiナノワイヤのSEM内引張試験

藤井達也, 伊奈銀之介, 井上尚三, 生津資大

M&M材料力学カンファレンス 2015 "OS1420-430-1"-"OS1420-430-2" 2015年11月21日
OS1419-420 HBマスキング効果を用いたSiナノワイヤの作製と機械物性評価

小関貴裕, 藤井達也, 井上尚三, 生津資大

M&M材料力学カンファレンス 2015 "OS1419-420-1"-"OS1419-420-2" 2015年11月21日
29pm2-F-3 FIBとウェットエッチングによるトップダウン加工で作製されたP型Siナノワイヤのピエゾ抵抗効果

小関貴裕, Phan Hoang-Phuong, Dao Dzung Viet, 井上尚三, 生津資大

マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2015(7) "29pm2-F-3-1"-"29pm2-F-3-2" 2015年10月21日
J2210206 Ti/SiOおよびTi/Siスパッタ多層膜の発熱性能比較

井上敬太, 金築俊介, 三宅修吾, 井上尚三, 生津資大

年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2015 "J2210206-1"-"J2210206-3" 2015年9月13日
J2210102 様々な空孔径と空隙率を持つ多孔質シリカナノ粒子の作製と強度評価

清原敬太, 井上敬太, 井上尚三, 生津資大

年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2015 "J2210102-1"-"J2210102-5" 2015年9月13日
J2210101 Auボンディングワイヤの機械物性に及ぼすアニールの影響

高木秋生, 金築俊介, 三宅修吾, 井上尚三, 生津資大

年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2015 "J2210101-1"-"J2210101-5" 2015年9月13日
J2210302 FIB援用Gaイオン打ち込みを利用したSiメンブレンの曲げ加工

小関貴裕, 井上尚三, 生津資大

年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2015 "J2210302-1"-"J2210302-4" 2015年9月13日
J2210204 Al/Ni発熱反応ハンダ接合の機械強度に及ぼすハンダ厚と下地膜厚の影響

桑原晃一, 井上尚三, 生津資大

年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2015 "J2210204-1"-"J2210204-3" 2015年9月13日
20pm3-PM003 700℃高真空アニールによるFIB加工Siナノワイヤの機械信頼性回復の試み

藤井達也, 小杉幸次郎, 米谷玲皇, 須藤孝一, 内藤宗幸, 井上尚三, 生津資大

マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2014(6) "20pm3-PM003-1"-"20pm3-PM003-2" 2014年10月20日
J2240203 Al/Ni瞬間ハンダ接合部のクラックおよび変形の評価と封止構造への適用検討([J224-02]『マイクロ・ナノ機械の信頼性』のための材料創製・測定・解析技術マイクロ・ナノ実験力学と機能材料)

生津資大, 伊藤駿, 黒石隼輝, 井上尚三, 森野勝也, 三宅修吾

年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2014 "J2240203-1"-"J2240203-4" 2014年9月7日
J2240202 発熱多層ブロックの反応伝播限界サイズの実験的評価([J224-02]『マイクロ・ナノ機械の信頼性』のための材料創製・測定・解析技術マイクロ・ナノ実験力学と機能材料)

黒石隼輝, 伊藤駿, 井上尚三, 生津資大

年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2014 "J2240202-1"-"J2240202-4" 2014年9月7日
J2240402 FIB加工した超硬試験片の引張試験と機械物性のサイズ効果([J224-04]『マイクロ・ナノ機械の信頼性』のための材料創製・測定・解析技術金属および酸化物の強度と破壊)

赤峰宏和, 森角寿之, 藤井達也, 黒田和樹, 高見康博, 井上尚三, 生津資大

年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2014 "J2240402-1"-"J2240402-4" 2014年9月7日
OS1117 機械刺激で反応誘起可能な自己伝播発熱多層膜

生津資大, 南端章也, 井上尚三

M&M材料力学カンファレンス 2014 "OS1117-1"-"OS1117-3" 2014年7月19日
OS1111 Siナノワイヤの引張機械特性のアニール効果

藤井達也, 小杉幸次郎, 米谷玲皇, 須藤孝一, 井上尚三, 生津資大

M&M材料力学カンファレンス 2014 "OS1111-1"-"OS1111-3" 2014年7月19日
硬質薄膜の凝着特性に関する研究（第2報）

平山明宏, 野間正男, 有年雅敏, 井上尚三

精密工学会学術講演会講演論文集 2014S 567-568 2014年

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担当経験のある科目(授業)

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

相変態を利用した２次元応力分布記録メディアとしてのステンレス薄膜

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2019年4月 - 2023年3月

井上尚三
発熱特性を制御できる金属-酸化物多層自己伝播発熱材料の開発

科学研究費補助金基盤研究(C) 2015年 - 2017年

井上尚三
ＭＥＭＳ構造材料への展開を目指したバルク金属ガラス薄膜の材料探索

科学研究費補助金基盤研究(C) 2011年 - 2013年

井上尚三
高速応答形状記憶合金マイクロアクチュエータ材料の開発とそのマイクロ加工技術の確立

科学研究費補助金基盤研究(C) 2008年 - 2010年

井上尚三
強磁性形状記憶合金薄膜による磁場動作型マイクロアクチュエーターの開発

科学研究費補助金基盤研究(B) 2002年 - 2004年

小寺澤啓司
固体炭素源を用いた２源スパッタリング法による硬質炭化物薄膜の高速成長

科学研究費補助金基盤研究(C) 2001年 - 2002年

井上尚三
非平衡マグネトロンスパッタリング法による強磁性形状記憶合金薄膜の作製

科学研究費補助金基盤研究(C) 2000年 - 2001年

小寺澤啓司
反応性スパッタリング法による超硬質多元系窒化物薄膜の高精度組成コントロール

科学研究費補助金基盤研究(C) 1998年 - 1999年

小寺澤啓司
磁場印加反応性スパッタリング法による高品位硬質窒化物薄膜の高速成長

科学研究費補助金奨励研究(A) 1997年 - 1998年

井上尚三
TiN被覆ステンレス鋼のピンホール欠陥と耐食性評価

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 1996年 - 1997年

内田仁, 小寺澤啓司, 井上尚三
金属・窒化物系傾斜機能薄膜による材料表面改質に関する研究

科学研究費補助金一般研究(C) 1992年 - 1993年

小寺澤啓司
超硬質窒化物薄膜による材料表面改質に関する研究

科学研究費補助金一般研究(C) 1990年 - 1991年

小寺澤啓司
反応性スパッタリング法による窒化物薄膜作製時のグロー放電発光の分光分析

科学研究費補助金奨励研究(A) 1990年

井上尚三
Deposition and Characterization of Shape Memory Alloy Films
Preparation and Characterization of Reactive Sputtered Nitride Films

井上尚三

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論文

MISC

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所属学協会

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