北守 一隆

レーザアブレーション法を用いたレーザ照射中における中性ビームソースのシミュレーション 

応用物理学会 13 339-342 1996年  

Simulation of real-time control of two-dimensional fearures in inductively coupled plasma sources for etching applications 

American Vacum Society J. Vac. Sci. Technol. A 13(5) 2456-2463 1995年  

Higher-order sampling strategies in Monte Carlo simulations of electron energy distribution functions in plasmas 

American Institute of Physics 75(8) 442-452 1994年  

Self-consistent Monte Carlo modelling of RF plasma in a helium-like model gas(共著) 

J. Phys. P : Appl. Phys 25,442-452 1992年  

Measurement of the Effective Ionization Coefficient in Ar and C₃F₈ Mixtures(共著) 

111-A(3) 175-181 1991年  

Self-Consistent Monte Carlo Modelling of Non-Equilibrium RF Plasma in Argon Gas(共著) 

T. IEE Japan 111-A(11) 962-970 1991年  

オーバーレイをもつマイクロプロログ(共著) 

北海道工業大学紀要 13,69-72 1985年  

Micro Prolog with Overlay Structure 

Memoirs of the Hokkaido Institute of Technology 13,69-72 1985年  

Room Temperature Deposition of Silicon Nitride Films using very low Frequency (50Hz) Plasma(VD)(共著) 

J. Electronic Materials 14,573-586 1985年  

Development of Electron Avalanche in Argon-an exact Boltzmann Equation Analysis(共著) 

J. Phys. D. Appl. Phys 13,535-550 1980年