本田 光

ライスカーSiCによるp型Si基板上へのSiC薄膜の形成 

平成9年度－平成13年度 私立大学学術研究 高度化推進事業 ハイテクセンター・リサーチ・センター整備事業 研究成果報告書 1-85 2002年  

P型Si基板上へのSiC薄膜の形成 

東北工業大学紀要理工論 (22), 121 2002年  

The Growth of SiC Films on p-Si Substrate using Whisker SiC 

Report High-Tech Research Center Tohoku Institute of Technology 1-85 2002年  

Formation of SiC Thin Film on P-Type Si Substrate 

MEMOIRS OF THE TOHOKU INSITITUTE OF TECHNOLOGY Ser.I : Science and Engineering (22), 121 2002年  

ウィスカーSiC昇華によるSi基板上へのSiC膜の成長法 

東北工業大学ハイテク・リサーチ・センター中間報告書 139 1999年  

The Growth of Sic Films on Si Substrate by the Sublimation Method using Whisker Sic 

Interim Report High-Tech Research Center Tohoku Institute of Technology 139 1999年  

SiCヘテロ接合デバイスの製作 

東北工業大学紀要理工編 (17) 151 1997年  

Fabrication of SiC Heterojunction Device 

MEMOIRS OF THE TOHOKU INSTITUTE OF TECHNOLOGY Ser. I : Science and Engineering (17) 151 1997年  

シリコン-炭化ケイ素ヘテロ接合ダイオードの製作 

東北工業大学紀要I理工学編 (15) 137-141 1995年  

Fabrication of Si-SiC Heterojunction Diode 

MEMOIRS OF THE TOHOKU INSTITUTE OF TECHNOLOGY Ser. I : Science and Engineering (15) 137-141 1995年  

近接法によるSi基板表面の炭化膜とSiC膜の形成 

東北工業大学紀要理工編 12,179-184 1992年  

Formation of Carbonized Layer and SiC Layer on Silicon Surface by Close-Spaced Method 

MEMOIRS OF THE TOHOKU INSTITUTE OF TECHNOLOGY 12,179-184 1992年  

超高真空中の熱処理によるスパッタSiC膜の結晶化 

東北工業大学紀要(]G0001[):理工学編 10 1990年  

Crystallization of R. F. Sputtered SiC Thin Films by Heat Treatment in Ultra High Vacuum 

10 1990年  

気相法によるβ-SiC膜の成長 

東北工業大学紀要(]G0001[):理工学編 8 1988年  

Gowth of β-sic Film from Vapor phase 

8 1988年  

レーザ照射によるβ-SiC膜の形成 

東北工業大学紀要(]G0001[):理工学編 7 1987年  

The Formation of β-SiC Films by Laser Radiated Sublimation 

7 1987年