論文

査読有り
2016年8月

AFMのプローブとステージ振動を用いた 単層グラフェンの高精度溝加工とそのモデル化

精密工学会誌
  • 芦葉直樹
    • ,
  • 濱詰翔
    • ,
  • 出村和哉
    • ,
  • 井原透
巻
82
号
8
開始ページ
764
終了ページ
768
記述言語
日本語
掲載種別
研究論文（学術雑誌）
出版者・発行元
精密工学会
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