2009年12月
Precision in Mechanical Removal Processing of Nano-sheet by AFM Probe|rn|-Study of Processing Method for Fabrication of High Precision Groove-
Proceedings of the 5th International Conference on LEM21
- ,
- ,
- ,
- 巻
- osaka
- 号
- 開始ページ
- 305
- 終了ページ
- 310
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- 出版者・発行元
- The Japan Society of Mechanical Engineers