論文

査読有り
2017年10月

イオン化蒸着法によるダイヤモンド状炭素の成膜と集束イオンビームによるデバイスの作製

電気学会論文誌A
  • 胡桃聡、高原裕介、大野貴史、松田健一、鈴木薫

137
10
開始ページ
584
終了ページ
589
記述言語
日本語
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
DOI
10.1541/ieejfms.137.584

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1541/ieejfms.137.584
ID情報
  • DOI : 10.1541/ieejfms.137.584
  • ISSN : 1347-5533
  • ISSN : 0385-4205
  • SCOPUS ID : 85030170163

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