2017年10月
イオン化蒸着法によるダイヤモンド状炭素の成膜と集束イオンビームによるデバイスの作製
電気学会論文誌A
- 巻
- 137
- 号
- 10
- 開始ページ
- 584
- 終了ページ
- 589
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 研究論文(学術雑誌)
- DOI
- 10.1541/ieejfms.137.584
- ID情報
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- DOI : 10.1541/ieejfms.137.584
- ISSN : 1347-5533
- ISSN : 0385-4205
- SCOPUS ID : 85030170163