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加藤 勇
カトウ イサム (Isamu Kato)
更新日: 2022/09/20
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MISC
講演・口頭発表等
所属学協会
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共同研究・競争的資金等の研究課題
講演・口頭発表等
3
表示件数
20件
20件
50件
100件
TEOSガスを用いて作製したSi系薄膜のPL発光強度とその組成依存性
第60回応用物理学会関係連合講演会 2013年
空気を用いた空間的アフターグロープラズマ滅菌におけるラジカル種と紫外線の殺菌効果の比較
第60回応用物理学会関係連合講演会 2013年
TEOSで作製したa-Si膜のPL発光特性のマイクロ波電力依存性
第73回応用物理学会学術講演会講演 2012年
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