MISC

2020年

スピンコート法で形成したアルミナ薄膜のSi表面パッシベーション効果に関する研究

日本材料科学会学術講演大会講演予稿集
  • 福田陽樹
  • ,
  • 中島義治
  • ,
  • 氷室貴大
  • ,
  • 渡邊良祐
  • ,
  • 齋藤洋司

2020

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