受賞

2007年10月

第44回秋期講演大会優秀論文

日本電子材料技術協会
  • 箱守明
    • ,
  • 河口範明
    • ,
  • 柳裕之
    • ,
  • 高田和哉
    • ,
  • 福山博之
タイトル
駆動力抑制窒化法による窒化アルミニウム単結晶膜の作製
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