特許権 表面力測定装置 日本レーザ電子、科学技術振興事業団 栗原和枝, 田島晴雄 出願番号 平成8年特許願-88921号 出願日 1996年3月18日 特許番号/登録番号 特許第3115526号 登録日 発行日 2000年9月29日
