特許権 グラフェントランジスタ 国立研究開発法人物質・材料研究機構 渡辺英一郎, 津谷大樹, 小出康夫 出願番号 2009-271742 出願日 2009年 公開番号 2011-114299 公開日 2011年 特許番号/登録番号 特許5697069 登録日 発行日 2015年