論文

査読有り 筆頭著者
2021年11月

Preparation of functional thin films with elemental gradient by sputtering with mixed powder targets

Jpn. J. Appl. Phys
  • Hiroharu Kawasaki
    • ,
  • Tamiko OHSHIMA
    • ,
  • Yoshihito YAGYU
    • ,
  • Takeshi Ihara
    • ,
  • Kazuhiko Mitsuhashi
    • ,
  • Hiroshi Nishiguchi
    • ,
  • Yoshiaki Suda
巻
60
号
SF
記述言語
英語
掲載種別
研究論文（学術雑誌）
エクスポート
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