河合晃 (Akira Kawai) - マイポータル

基本情報

学位: 博士(工学）(長岡技術科学大学)
工学修士(長岡技術科学大学)

J-GLOBAL ID: 200901030683347722
researchmap会員ID: 1000165261

外部リンク: http://kawai.nagaokaut.ac.jp

研究キーワード

研究分野

経歴

2013年10月 - 現在

長岡技術科学大学電気系, 教授
2007年4月 - 2013年9月

長岡技術科学大学, 准教授
1993年4月 - 2007年3月

長岡技術科学大学, 助教授
1983年4月 - 1993年3月

三菱電機株式会社ＵＬＳＩ研究所, 主事

学歴

委員歴

2007年12月 - 現在

シナジェティックデバイス研究会幹事
1999年4月 - 現在

日本接着学会評議員
2008年4月 - 2010年3月

にいがたナノテク研究会副会長
2008年10月 - 2009年10月

ＮＥＤＯ技術委員
2006年4月 - 2008年3月

にいがたナノテク研究会幹事
1998年4月 - 2000年3月

信濃川テクノポリス開発機構指導会員

受賞

論文

161

Effect of Sub-Pattern on Guiding Liquid Propagation at Microchannel Junction

Natsumi Yagi, Akira Kawai

JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY 29(6) 833-834 2016年査読有り
In-situ Monitoring of TMAH Developer Intrusion into Resist Film by C-V Method

Hodaka Shirataki, Akira Kawai

JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY 29(6) 817-822 2016年査読有り
Negative Pattern Formation in Positive Resist Layer by EB/UV Hybrid Lithography

Hiroki Nakano, Kenta Takahashi, Akira Kawai

JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY 29(4) 603-606 2016年査読有り
Tactile senses control by contacting a human finger with micro resist pattern arrangements

Kunii Yako, Akira Kawai

J. Photopolym. Sci. Technol. 27(6) 27-31 2014年12月1日査読有り
Frequency Dispersion of Permittivity of SU-8 Resist Thin Film

Akira Kawai, Shogo Ohtani

JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY 27(6) 711-712 2014年査読有り
Effect of Low Surface Tension Developer on Micro Bubble Removal from Resist Square Window Pattern

Kenta Takahashi, Akira Kawai

JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY 26(6) 765-768 2013年査読有り
Micro Pinhole Formation in Photoresist Multilayer Structure controlled with Hydrophilic Treatment

Yuta Noguchi, Kenta Takahashi, Akira Kawai

JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY 26(6) 739-744 2013年査読有り
Fabrication of Micro Tube Array by Combining Positive with Negative Type Photoresists due to Solubility Difference in Developer

Kazutoshi Otsuka, Kenta Takahashi, Akira Kawai

JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY 26(6) 717-720 2013年査読有り
Local Heating System Integrated with Platinum Micro Heater and Photopolymer Microfluidic Channel

Yuta Noguchi, Akira Kawai

JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY 26(6) 713-716 2013年査読有り
Electrification on Condensation Surface of Micro Particles with Atomic Force Microscope (AFM)

Akira Kawai

JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY 26(6) 705-706 2013年査読有り
Fabrication and Durability of Single Chip Micro Direct Methanol Fuel Cell (SC-μDMFC) by Photolithography Process

Yosuke Sakurai, Daisuke Tanaka, Shunsuke Ohata, Akira Kawai

J. Photopolymer Science and Technology 26(6) 751-756 2013年査読有り
Liquid Penetration Control of Photoresist/Perflurosulfonic Acid (PFSA) Double Layer Structure by Hydrophobic Treatment

Yosuke Sakurai, Kenta Takahashi, Akira Kawai

JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY 26(6) 727-732 2013年査読有り
Mechanical Stress on Ionic Conductivity of Perfluorosulfonic Acid (PFSA) Film by Photolithography

Yosuke Sakurai, Akira Kawai

J. Photopolymer Sci. Technol 25(6) 723-726 2012年12月1日査読有り
Micro Cantilever Motion in Micro Pattern Peeling by DPAT Method

Takashi Aiba, Akira Kawai

J. Photopolymer Sci. Technol. 25(6) 727-731 2012年12月1日査読有り
Surface Stability of SU-8 for Accurate Biopotential Detection

Yuta Noguchi, Akira Kawai

J. Photopolymer Science and Technology 25(5) 719-722 2012年12月1日査読有り
Enhanced Adhesive Strength of a Double-layer Cu Film Consisting of an Under-layer Deposited in 10 vol% O2 in Ar and an Upper-layer Deposited in Pure Ar

Satoru Mori, Akira Kawai

J. Adhesion of Japan 48(1) 10-16 2012年1月1日査読有り
Micro Polymer Capsule Constructed with Micro Pillars Formed by Multi Laminating Method

Akira Kawai

J. Photopolymer Science and Technology 24(2) 647-650 2011年6月23日査読有り
Fluid Control MEMS constructed with Polymer Materials

Akira Kawai

J. Photopolymer Science and Technology 24(5) 573-598 2011年6月21日査読有り
Low-Resistivity and Adhesive Sputter0Deposited Cu-Ca Films with an Intermidiate Oxide Layer

Satoru Mori, Akira Kawai

Jpn. J. Appl. Phys. 49(075804) 1-8 2010年4月21日査読有り
Double Patterning Analysis Method by Emulation using a Double-Exposure Technique

Junji Miyazaki, Nobuhito Toyama, Akira Kawai

Jpn. J. Appl. Phys. 49(035201) 1-6 2010年4月21日査読有り

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MISC

Coating Theory and Phenomenon for the Plant, Chapter 3, Session 2 Adhesion Mechanism and Interface Part2 and Part3

CONVERTECH & e-Print 1(1) 112-116 2016年9月
Coating Theory and Phenomenon for the Plant, Chapter 3, Session 1 Adhesion Mechanism and Interface Part1

CONVERTECH & e-Print 6(4) 57-61 2016年7月
Coating Theory and Phenomenon for the Plant, Chapter 2, Session 6 Drying Defects Part2

CONVERTECH & e-Print 6(3) 110-115 2016年5月
Coating Theory and Phenomenon for the Plant, Chapter 2, Session 4 Drying Equipment

Kawai Akira

CONVERTECH & e-Print 6(1) 104-108 2016年1月
Coating Theory and Phenomenon for the Plant, Chapter 2, Session 3 Coating Film Stress

CONVERTECH & e-Print 5(6) 80-85 2015年12月
Coating Theory and Phenomenon for the Plant, Chapter 2, Session 2 Coating Film Property Control Via Heat Treatment

Kawai Akira

CONVERTECH & e-Print 5(5) 58-65 2015年9月
Coating Theory and Phenomenon for the Plant, Chapter 2, Session 1 Coating Drying: Drying Mechanism and Control

Kawai Akira

CONVERTECH & e-Print 5(4) 90-94 2015年7月
Coating Theory and Phenomenon for the Plant, Chapter 1, Session 4 Coating Fundamentals: Wetting Problem Causes and Solutions

Kawai Akira

CONVERTECH & e-Print 5(3) 18-24 2015年5月
Coating Theory and Phenomenon for the Plant, Chapter 2, Session 5 Drying Defects Part1

CONVERTECH & e-Print 6(2) 88-94 2015年3月
Coating Theory and Phenomenon for the Plant, Chapter 1, Session 3 Coating Fundamentals: Hydrophobing Treatment

Kawai Akira

CONVERTECH & e-Print 5(2) 96-102 2015年3月
Coating Theory and Phenomenon for the Plant, Chapter 1, Session 2 Coating Fundamentals: Surface Energy

Kawai Akira

CONVERTECH & e-Print 5(1) 90-95 2015年1月
Coating Theory and Phenomenon for the Plant, Chapter 1, Session 1 Coating Fundamentals: Wetting

CONVERTECH 4(6) 20-24 2014年12月
凝集した微粒子の性質（１）

月刊マテリアルステージ 11(11) 69-71 2012年11月
界面のピンホール

河合晃

月刊マテリアルステージ 11(10) 69-70 2012年10月
全応力マッチングによる多層膜設計

河合晃

月刊マテリアルステージ 12(3) 66-67 2012年6月
屈折率による材料評価（その２）

月刊マテリアルステージ 12(2) 81-83 2012年5月
高品位なプラズマCVD膜形成について

河合晃

月刊マテリアルステージ 12(4) 69-71 2012年4月
屈折率による材料評価（その１）

河合晃

月刊マテリアルステージ 12(1) 61-62 2012年4月
原子間力顕微鏡力顕微鏡（AFM)を用いた微小構造体の付着凝集性解析

河合晃

日本接着学会誌 48(1) 36-46 2012年1月
コーティングにおける信頼性技術

河合晃

コンバーテック 41(8) 30-32 2011年8月

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書籍等出版物

高分子の残留応力対策

河合, 多数 (担当:共著)

技術情報協会 2017年3月1日 (ISBN: 9784861046483)
シランカップリング剤の使いこなしノウハウ集

河合, 多数 (担当:共著)

技術情報協会 2016年12月1日 (ISBN: 9784861046100)
シランカップリング剤の使いこなしノウハウ集

河合晃 (担当:共著)

技術情報協会 2016年5月8日
最新高機能コーティングの技術・材料・評価

河合晃 (担当:共著)

シーエムシー出版 2015年6月6日
気泡・ボイドの発生メカニズムと未然防止・除去技術

河合, 多数 (担当:共著)

技術情報協会 2014年10月26日
高分子における劣化・破壊現象の写真・データ事例集

河合, 多数 (担当:共著)

技術情報協会 2014年10月26日
薄膜塗布技術と乾燥トラブル対策

河合晃 (担当:共著)

技術情報協会 2013年11月26日
現場で応用できるコーティングの理論と現象－トラブルをメカニズムから考える－

河合晃

加工技術研究会 2012年10月29日
シランカップリング剤の効果と使用法

河合晃 (担当:共著)

サイエンスアンドテクノロジー出版 2012年7月30日
欠陥を出さない！良い塗布膜を得るためのコントロール技術

河合晃

サイエンス＆テクノロジー 2012年7月30日
レジストプロセスの最適化テクニック、～微細化・トラブル解消のための工程別対策および材料技術～

河合晃 (担当:共著)

情報機構 2011年9月27日 (ISBN: 9784904080900)
バインダー（結着剤）の失敗しない選び方・使い方事例集

河合晃 (担当:共著)

技術情報協会 2011年7月29日 (ISBN: 9784861043819)
粒子分散系塗布膜を中心にした高粘度スラリーの調液・塗布・乾燥技術

河合晃 (担当:共著)

技術情報協会 2011年3月31日 (ISBN: 9784861043635)
塗膜・レジスト膜の乾燥・付着技術とトラブル対策

河合晃

情報機構 2011年3月25日 (ISBN: 9784904080757)
シランカップリング剤の反応メカニズムと処理条件の最適化

河合晃 (担当:共著)

技術情報協会 2010年12月5日
剥離対策と接着・密着性の向上

河合晃 (担当:共著)

サイエンス＆テクノロジー 2010年7月20日
コーティング材料のコントロールと添加剤の活用

河合晃 (担当:共著)

サイエンス＆テクノロジー 2010年6月10日
挑戦こそが成功の鍵

河合晃 (担当:共著)

近代科学社 2010年4月25日
インクジェット技術における微小液滴の吐出・衝突・乾燥

河合晃

技術情報協会 2009年8月30日 (ISBN: 9784861042911)
薄膜の機械的物性と不良対策・高品質化

河合晃 (担当:共著)

サイエンス＆テクノロジー 2008年12月5日 (ISBN: 9784903413426)

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講演・口頭発表等

120

Durability of Resist Film in TMAH Developer Analyzed by C-V Method

International Conference of Science of Technology Innovation 2017 (STI-Gigaku 2017) 2017年1月25日 Nagaoka University of Technology
Formation of Ultra Thin Continuous Resist Film Less Than 10nm

The 5th International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN 2016) 2016年10月5日 NUT
Biomimetic Fabrication of Gas Storage System in Micro Two Step Cone Tube

The 5th International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN 2016) 2016年10月5日 NUT
Smooth Fluid Flow at Micro Channel/Tube Junction

The 5th International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN 2016) 2016年10月5日 NUT
Application of Micro Heating System to Plant Vital Control

The 5th International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN 2016) 2016年10月5日 NUT
Analysis of TMAH Developer Intrusion into Resist Film by C-V Curve of MIS Capacitor

The 5th International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN 2016) 2016年10月5日 NUT
電子線照射／UV露光ハイブリッドリソグラフィによるレジストパターンの形成

河合晃, 丸山智大, 中野弘基

第77回応用物理学会秋季学術講演会 2016年9月17日応用物理学会
Peeling Analysis of Nanoscale Condensed Matters by using Cantilever Tip of Atomic Force Microscope (AFM)

The 5th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2015) 2015年11月11日 Applied Physics of Japan
Manipulation of Nanoscale Condensed Soft Matters by using Cantilever Tip of Atomic Force Microscope (AFM)

The 4th International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN 2015) 2015年10月7日 GIGAKU Conference
Removal Property of Micro Bubbles Trapped on Resist Window Pattern by Dipping Into Low Surface Tension Developer

40th Micro and Nano Engineering 2014年9月23日 Organization of 40th Micro and Nano Engineering
Functional Perflurosulfonic Acid (PFSA) Micro Pattern fabrication for Micro Fuel Cell

The 3rd International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN2014) 2014年6月23日 Organization of The 3rd International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN2014)
Single Chip Micro Direct Methanol Fuel Cell (SC-mDMFC)

The 3rd International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN2014) 2014年6月23日 Organization of The 3rd International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN2014)
Peeling analysis of nanoscale defects by using cantilever tip of atomic force microscope (AFM)

PMJ (PhotoMask Japan) 2014 2014年4月23日 Organization of PMJ (PhotoMask Japan) 2014
Adhesion analysis of micro pattern by direct peeling method using AFM

PRiME 2012 2012年10月23日 The Electro Chemical Society
Condensation control of Nanoscale Polymer Aggregates by using atomic force microscope

1st International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN2012) 2012年2月3日 Nagaoka University of Technology
Condensation control of Nanoscale Polymer Aggregates by using atomic force microscope tip

1st International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN2012) 2012年2月3日 Nagaoka University of Technology
Nanoscale Topography of Polymer Film Surface in Dry/Wet Conditions

Nano S&T 2011 2011年10月23日 Nano S&T
(Invited paper) Nano- Porous Structure in Polymer Micro Pattern Analyzed by Atomic Force Microscopy(AFM)

Nano S&T 2011年10月23日 Nano S&T 2011
(Invited paper) Fluid Control MEMS constructed with Polymer Materials

International symposium on materials & processes for advanced giga-bit-scale lithography 2011 2011年6月24日 Photopolymer Science & Technology
Micro bubble removal from micro pattern structure under alternating

International Conference of SPIE Lithogtaphy Asia 2009 2009年11月19日 SPIE

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所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

ナノ計測制御技術の開発

科学研究費補助金 1993年4月 - 現在
次世代デバイスプロセス技術の開発

科学研究費補助金 1993年4月 - 現在
ナノ・マイクロシステムデバイス (nano-micro system) の開発

科学研究費補助金 1993年4月 - 現在
植物内へのｐＨ制御デバイス挿入による新規成長促進システムの開発

科学研究補助金挑戦的萌芽研究 2011年4月 - 2013年3月

河合晃
カプセル型マイクロ燃料電池の創製と微小凝集体の自己分散制御

科学研究費補助金挑戦的萌芽研究
15nmゲートパターンのラインエッジラフネス (LER) 抑制技術の開発

科学研究費補助金基盤研究（Ｂ）

河合晃
高分子集合体間の相互作用力制御に基づいた３５ｎｍサイズの微細レジストパターン開発

日本学術振興会科学研究費補助金基盤研究(B)
微細凹凸構造での微小気泡の吸着・脱離制御に基づく新規メモリデバイスの開発

文部科学省科学研究費補助金萌芽研究
光干渉縞を利用した大型基板表面の清浄度分布解析法の実用化研究

科学技術振興機構(JST)重点地域研究開発推進事業平成17年度「シーズ育成試験」
光学フリンジを利用した大型基板表面の清浄度評価法の実用化研究

(財)にいがた産業創造機構(NICO)提案公募型技術開発事業
耐環境型液体分析マイクロチップの実用化研究

地域イノベーション創出総合支援事業・重点地域研究開発推進プログラム「シーズ発掘試験」
ナノスケールで制御された凝集構造を有する２５ｎｍサイズの微細レジストパターン開発

科学研究費補助金基盤研究（B)
ナノスケールで制御された凝集構造を有する２５nmサイズの微細レジストパターン開発

科学研究費補助金基盤研究（Ｂ）
高分子集合体間の相互作用力制御に基づいた３５ｎｍサイズの微細レジストパターン開発

科学研究費補助金基盤研究（Ｂ）
微細凹凸構造での微小気泡の吸着・脱離制御に基づく新規メモリデバイスの開発

科学研究費補助金萌芽研究
微細凹凸構造での微小気泡の吸着・脱離制御に基づく新規メモリデバイスの開発

科学研究費補助金
原子間力顕微鏡の微細探針を用いた100nm以下のレジストパターンの付着凝集解析

科学研究費補助金基盤研究（Ｃ）
AFM探針を用いた0.1μｍ線幅のレジストパターン接着力の直接解析法に関する研究

科学研究費補助金基盤研究（Ｃ）
0.3μｍ以下の微細レジストパターンの接着・破壊機構に関する研究

科学研究費補助金奨励研究（Ａ）
超微細サイズにおける誘電体薄膜の誘電メカニズム解析

科学研究費補助金奨励研究（Ａ）

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産業財産権

100

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