2012年4月 高品位なプラズマCVD膜形成について 月刊マテリアルステージ 河合 晃 巻 12 号 4 開始ページ 69 終了ページ 71 記述言語 日本語 掲載種別 記事・総説・解説・論説等（商業誌、新聞、ウェブメディア） 出版者・発行元 技術情報協会 エクスポート BibTeX RIS
