梅本宏信 (Hironobu Umemoto) - マイポータル

基本情報

所属: 静岡大学工学部 - 化学バイオ工学科
: (兼任)大学院総合科学技術研究科工学専攻 - 化学バイオ工学コース

学位: 理学博士(東京工業大学)

J-GLOBAL ID: 200901017019987718
researchmap会員ID: 1000165707

外部リンク: http://www.ipc.shizuoka.ac.jp/~thumemo/

研究分野

ナノテク・材料 / 基礎物理化学 /

経歴

静岡大学工学部 - 化学バイオ工学科, 教授

学歴

委員歴

2003年 - 2004年

応用物理学会, 北陸信越支部幹事
2000年 - 2001年

日本化学会, 近畿支部幹事

MISC

In-situ production of PH3 from red phosphorus and atomic hydrogen

Hironobu Umemoto, Yushin Nishihara, Takuma Ishikawa

CHEMICAL PHYSICS LETTERS 514(1-3) 26-28 2011年9月
Catalytic decomposition of NH3 on heated Ru and W surfaces

Hironobu Umemoto, Yuta Kashiwagi, Keisuke Ohdaira, Hiroyuki Kobayashi, Kanji Yasui

THIN SOLID FILMS 519(14) 4429-4431 2011年5月
Activation and Decomposition of N-2 on Heated Tungsten Filament Surfaces

Hironobu Umemoto, Tsuyoshi Funae, Yuri A. Mankelevich

JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY C 115(14) 6748-6756 2011年4月
Production and detection of H atoms and vibrationally excited H2 molecules in CVD processes

Hironobu Umemoto

Chemical Vapor Deposition 16(10-12) 275-290 2010年12月
Production and Detection of H Atoms and Vibrationally Excited H-2 Molecules in CVD Processes

Hironobu Umemoto

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION 16(10-12) 275-290 2010年12月
A Clean Source of Ground-State N atoms: Decomposition of N-2 on Heated Tungsten

Hironobu Umemoto

APPLIED PHYSICS EXPRESS 3(7) 076701 2010年
Substrate Temperature Dependence of the Photoresist Removal Rate using Atomic Hydrogen Generated by Tungsten Hot-Wire Catalyst

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REV 49(1) 016701 2010年
A Clean Source of Ground-state N atoms: Decomposition of N2 on Heated Tungsten

3(7) 076701 2010年
Order of Reaction between Photoresist and Atomic Hydrogen Generated by a Tungsten Hot-Wire Catalyst

Masashi Yamamoto, Takeshi Maruoka, Akihiko Kono, Hideo Horibe, Hironobu Umemoto

APPLIED PHYSICS EXPRESS 3(2) 026501/1-026501/3 2010年
Substrate Temperature Dependence of the Photoresist Removal Rate using Atomic Hydrogen Generated by Tungsten Hot-Wire Catalyst

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REV 49(1) 016701 2010年
Detection of radical species produced by catalytic decomposition of H-2, O-2 and their mixtures on heated Ir surfaces

Hironobu Umemoto, Hiroki Kusanagi, Kazuaki Nishimura, Mitsuru Ushijima

THIN SOLID FILMS 517(12) 3446-3448 2009年4月
Photoresist Removal Using Atomic Hydrogen Generated by Hot-Wire Catalyzer and Effects on Si-Wafer Surface

Masashi Yamamoto, Hideo Horibe, Hironobu Umemoto, Kazuhisa Takao, Eiji Kusano, Masataka Kase, Seiichi Tagawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 48(2) 026503 2009年2月
Catalytic Decomposition of H2O(D2O) on a Heated Ir Filament to Produce O and OH(OD) Radicals

Umemoto Hironobu, Kusanagi Hiroki

The Open Chemical Physics Journal 2(1) 32-36 2009年
Novel plasmaless photoresist removal method in gas phase at room temperature

T. Miura, M. Kekura, H. Horibe, M. Yamamoto, H. Umemoto

ECS Transactions 19(3) 423-429 2009年
Catalytic Decomposition of H2O(D2O) on a Heated Ir Filament to Produce O and OH(OD) Radicals

Umemoto Hironobu, Kusanagi Hiroki

Open Chemical Physics Journal 2(1) 32-36 2009年
Catalytic decomposition of O-2, NO, N2O and NO2 on a heated Ir filament to produce atomic oxygen

Hironobu Umemoto, Hiroki Kusanagi

JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS 41(22) 225505 2008年11月
Coverage Properties of SiNx Films Prepared by Catalytic Chemical Vapor Deposition on Trenched Substrates below 80 C

HEYA Akira, MINAMIKAWA Toshiharu, NIKI Toshikazu, MINAMI Shigehira, MASUDA Atsushi, UMEMOTO Hironobu, MATSUO Naoto, MATSUMURA Hideki

THIN SOLID FILMS 516(10) 3000-3004 2008年3月
Coverage properties of SiNx films prepared by catalytic chemical vapor deposition on trenched substrates below 80 degrees C

Akira Heya, Toshiharu Minamikawa, Toshikazu Niki, Shigehira Minami, Atsushi Masuda, Hironobu Umemoto, Naoto Matsuo, Hideki Matsumura

THIN SOLID FILMS 516(10) 3000-3004 2008年3月
Coating techniques of metal chambers for remote catalytic chemical vapor deposition applications

Hironobu Umemoto, Shota Setoguchi, Hitoshi Uemura, Hideki Matsumura

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A 26(2) 309-311 2008年3月
Production and detection of reducing and oxidizing radicals in the catalytic decomposition of H(2)/O(2) mixtures on heated tungsten surfaces

Hironobu Umemoto, Masashi Moridera

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 103(3) 034905 2008年2月

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書籍等出版物

工学基礎化学実験(第3版)

生駒修治, 植田一正, 梅本宏信, 平川和貴, 宮林恵子ほか (担当:共著)

学術図書 2013年3月
工学基礎化学実験(第2版)

(担当:共著)

学術図書 2012年3月
基礎から学ぶ大学の化学

植田一正, 梅本宏信, 平川和貴, 山田眞吉 (担当:編者(編著者))

培風館 2011年1月
工学基礎化学実験

(担当:共著)

学術図書 2010年3月
触媒CVD(Cat-CVD)の新展開-ラジカルを用いる新プロセス技術-

松村英樹, 中山弘, 梅本宏信ほか (担当:共著)

シーエムシー出版 2008年10月
化学便覧

(担当:共著)

丸善 2004年9月
次世代エレクトロニクス薄膜技術

増田淳, 和泉亮, 梅本宏信, 松村英樹 (担当:共著)

シーエムシー出版(株) 2003年1月

講演・口頭発表等

105

水素ラジカルを用いたレジスト除去における除去速度の圧力依存性

城井智弘, 山本雅史, 長岡史郎, 梅本宏信, 大平圭介, 西山聖, 堀邊英夫

第１4回Ｃａｔ－ＣＶＤ研究会 2017年7月
水素ラジカルを用いたレジスト除去における酸素添加効果

滝智洋, 山本雅史, 長岡史郎, 梅本宏信, 大平圭介, 西山聖, 堀邊英夫

第１4回Ｃａｔ－ＣＶＤ研究会 2017年7月
ラジカルの発生とその反応

梅本宏信

第１4回Ｃａｔ－ＣＶＤ研究会 2017年7月招待有り
B-atom release from metal wires boronized by non-explosive boron compounds

82nd Annual Meeting of the Society of Chemical Engineers 2017年3月招待有り
Decomposition Processes of Polymers used for Photoresists by H Atoms Produced on Hot Wire Surfaces

H. Umemoto, T. Kato, M. Takiguchi, S. Takagi, H. Horibe

9th Hot-Wire Chemical Vapor Deposition Conference 2016年9月
Hot Metal Wires as Sinks and Sources of B atoms

H. Umemoto, A. Miyata

9th Hot-Wire Chemical Vapor Deposition Conference 2016年9月招待有り
レジストポリマーの水素原子による分解過程

梅本宏信, 加藤輝斗, 滝口正侑, 高木誠司, 堀邊英夫

第１3回Ｃａｔ－ＣＶＤ研究会 2016年7月
ボラザンによりホウ素化したタングステンワイヤからのホウ素原子放出

梅本宏信, 梅本宏信, 宮田篤

第１3回Ｃａｔ－ＣＶＤ研究会 2016年7月
水素ラジカルを用いたレジスト除去における酸素添加による除去均一性の向上

山本雅史, 前島和真, 梅本宏信, 大平圭介, 鹿間共一, 西山聖, 堀邊英夫

第３３回フォトポリマーコンファレンス 2016年6月
A clean source of B atoms without using explosive boron compounds

Atsushi Miyata, Hironobu Umemoto

32nd Symposium on Chemical Kinetics and Dynamics 2016年6月
水素ラジカルによるレジスト除去における除去速度の酸素添加量依存性

山本雅史, 梅本宏信, 大平圭介, 鹿間共一, 西山聖, 堀邊英夫

第６３回応用物理学会春季学術講演会 2016年3月
酸素を微量添加した水素ラジカルを用いたレジストの除去

山本雅史, 梅本宏信, 大平圭介, 鹿間共一, 西山聖, 堀邊英夫

第７６回応用物理学会秋季学術講演会 2015年9月
加熱タングステン触媒体上でのホウ素化合物からのＢ原子生成過程

梅本宏信, 宮田篤, 野島拓翔

第７６回応用物理学会秋季学術講演会 2015年9月
低圧下で生成した原子状水素を用いたレジストの除去

山本雅史, 梅本宏信, 大平圭介, 鹿間共一, 長岡史郎, 西山聖, 堀邊英夫

第１2回Ｃａｔ－ＣＶＤ研究会 2015年7月
加熱タングステンワイヤ表面でのホウ素化合物分解過程

梅本宏信, 梅本宏信, 宮田篤, 野島招翔

第１2回Ｃａｔ－ＣＶＤ研究会 2015年7月
Catalytic decomposition processes of borazane and borazine on heated W wire surfaces

Atsushi Miyata, Hironobu Umemoto

31st Symposium on Chemical Kinetics and Dynamics 2015年6月
アンモニアの加熱金属触媒による分解過程と後続気相反応過程

梅本宏信

化学工学会反応工学部会 CVD反応分科会主催第23回シンポジウム 2015年5月招待有り
Decomposition processes of diborane and borazane (ammonia-borane complex) on hot W wire surfaces

H. Umemoto, T. Kanemitsu, A. Miyata

8th Hot-Wire Chemical Vapor Deposition Conference 2014年10月
加熱タングステンワイヤ上でのジボランからのＢ原子およびＢＨラジカルの発生機構

梅本宏信, 金光泰二郎

第７5回応用物理学会秋季学術講演会 2014年9月
アンモニア－ボラン錯体の加熱タングステンワイヤ上での触媒分解

梅本宏信, 宮田篤

第１1回Ｃａｔ－ＣＶＤ研究会 2014年7月

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担当経験のある科目(授業)

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

加熱金属触媒体上でのジボラン等水素化物の分解過程

基盤研究(C) 2014年4月 - 2017年3月
触媒化学気相堆積法の酸化性ガスへの適用

基盤研究(C) 2007年4月 - 2009年3月
窒化シリコン薄膜の化学気相堆積過程-有機窒化シリコン分子を原料として-

基盤研究(C) 2005年4月 - 2007年3月
触媒CVD法による太陽電池炭化シリコン層作製についての基礎的研究

特別研究員奨励費 2003年10月 - 2005年9月
一重項準安定窒素分子の選択的生成法の確立とその反応過程の解明

基盤研究(C) 2002年4月 - 2004年3月

産業財産権

終点検出方法及び終点検出装置、並びに終点検出装置を備えた気相反応処理装置