1995年4月1日
TEM Observation of the Damages in Heavily Ion-implanted Fine Si Columns
Mat. Res. Soc. Symp. Proc.
- 巻
- 354
- 号
- 開始ページ
- 641-646.
- 終了ページ
- 646
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- リンク情報
- ID情報
-
- ISSN : 0272-9172
- Web of Science ID : WOS:A1995BE68S00095