小野崇人 (Takahito Ono) - マイポータル

基本情報

所属: 東北大学大学院工学研究科・工学部機械機能創成専攻機能システム学講座微小機械構成学分野教授
: (兼任)マイクロシステム融合研究開発センター

学位: 博士（工学）(東北大学)

連絡先: takahito.ono.d4tohoku.ac.jp
J-GLOBAL ID: 200901090381005175
researchmap会員ID: 1000202930

外部リンク: https://www.nme.mech.tohoku.ac.jp/

研究キーワード

研究分野

経歴

2021年4月 - 現在

東北大学, マイクロシステム融合研究開発センター, 副センター長
2009年4月 - 現在

東北大学, 大学院工学研究科, 教授
2017年4月 - 2021年3月

東北大学, マイクロシステム融合研究開発センター, センター長
2011年4月 - 2017年3月

東北大学, マイクロシステム融合研究開発センター, 副センター長
2013年4月 - 2016年3月

東京大学, 大学院工学系研究科, 客員大講座教授
2000年4月 - 2009年3月

東北大学, 大学院工学研究科, 准教授
1999年4月 - 2000年3月

東北大学, 工学部, 講師
1996年4月 - 1999年3月

東北大学, 工学部, 助教

委員歴

2023年1月 - 現在

ECS meeting, Lead Organizer
2020年11月 - 現在

米国電気化学会 (ECS), Executive Committee
2015年1月 - 現在

Nature, Microsystems & Nanoengineering, Editorial Board
2007年7月 - 現在

Institute of Physics(IOP), Journal of Micromechanics and Microengineering, Editorial board
2023年4月 - 2024年3月

日本機械学会, 代表会員
2022年10月 - 2022年12月

The 3rd International Workshop on Engineering Physics, IC-MEMS-Sensors and Their Applications, General Chair
2018年5月 - 2020年6月

電気学会センサ・マイクロマシン部門役員会, 副部門長
2018年6月 - 2019年5月

電気学会総務会議, 委員
2016年5月 - 2018年4月

マイクロマシン・センサシステム技術委員会, 委員長
2016年3月 - 2018年2月

電気学会代議員, 代議員
2015年10月 - 2016年11月

THE IEEE International Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO), 実行委員長
2016年1月 - 2016年10月

The IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 論文委員長
2015年12月 - 2016年9月

電気学会E部門総合研究会実行委員会・論文委員会, 実行委員長
2015年12月 - 2016年9月

E部門総合研究会実行委員会, 委員長
2014年5月 - 2016年5月

電気学会センサ・マイクロマシン部門役員会, 研究調査担当
2008年5月 - 2016年3月

戦略的創造事業(CREST) ナノシステム, アドバイザー
2014年6月 - 2015年6月

IEEE-MEMS 2015, Executive Technical Program Committee
2009年12月 - 2012年9月

センサ・マイクロマシンと応用システム, 論文委員長
2007年6月 - 2012年6月

Journal of Micromechanics and Microengineering, Editorial board
2010年5月 - 2012年5月

センサ・マイクロマシン部門役員会, 役員

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論文

567

Actuation of microstructures with spin-current volume effect

Yi-Te Huang, Kenta Suzuki, Hiroki Arisawa, Takashi Kikkawa, Eiji Saitoh, Takahito Ono

Communications Engineering 3(1) 2024年3月7日
A Large-Stroke 3-DOF Micromirror With Novel Lorentz Force-Based Actuators Utilizing Metallic Glass Thin Film

Chuan Hui Ou, Nguyen Van Toan, Yao Chuan Tsai, Ioana Voiculescu, Masaya Toda, Takahito Ono

Journal of Microelectromechanical Systems 33(1) 46-53 2024年2月1日
Thermoelectric properties of Indium doped skutterudite thick film synthesized by a facile technique of electrochemical deposition

Nuur Syahidah Sabran, Iman Aris Fadzallah, Mohd Faizul Mohd Sabri, Takahito Ono

Journal of Materiomics 9(5) 899-909 2023年9月査読有り最終著者
Magnetostriction of electroplated TbFeCo thin films

Yi Te Huang, Takahito Ono

Journal of Magnetism and Magnetic Materials 577 2023年7月1日査読有り最終著者責任著者
Metal-Multilayered Nanomechanical Cantilever Sensor for Detection of Molecular Adsorption

Masaya Toda, Takahito Ono, Jun Okubo

Biosensors 13(6) 2023年6月査読有り
A Large-Stroke Tip-Tilt-Piston Micromirror with Electromagnetic Actuators Based on Metallic Glass

Chuan Hui Ou, Nguyen V. Toan, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 2023-January 1103-1106 2023年
Measurement of cellular thermal properties and their temperature dependence based on frequency spectra via an on-chip-integrated microthermistor

Naoki Inomata, Takumi Miyamoto, Kohki Okabe, Takahito Ono

Lab on a Chip 2023年査読有り
Quality factor control of mechanical resonators using variable phononic bandgap on periodic microstructures

Naoki Inomata, Yuka Tonsho, Takahito Ono

Scientific Reports 12(1) 2022年12月査読有り最終著者
Magnetically coupled oscillators applicable to high-sensitivity mass detection

Cao Xia, Dong F. Wang, Takahito Ono, Toshihiro Itoh, Masayoshi Esashi

Microsystem Technologies 28(11) 2443-2453 2022年11月査読有り
Ultra-flexible thermoelectric generator based on silicone rubber sheet and electrodeposited thermoelectric material for waste heat harvesting

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Hongtao Sui, Nguyen Huu Trung, Khairul Fadzli Samat, Takahito Ono

Energy Reports 8 5026-5037 2022年11月査読有り
Highly enhanced thermoelectric and mechanical properties of Bi<inf>2</inf>Te<inf>3</inf> hybrid nanocomposite with inclusion of Pt nanoparticles and SWCNTs

Khairul Fadzli Samat, Yijie Li, Nguyen Van Toan, Mohd Asyadi Azam, Takahito Ono

Journal of Materials Research 37(20) 3445-3458 2022年10月28日査読有り
Effects of temperature and doping concentration on the piezoresistive property of vanadium dioxide thin film

Naoki Inomata, Takuto Usuda, Yuji Yamamoto, Marvin H. Zoellner, Ioan Costina, Takahito Ono

Sensors and Actuators A: Physical 346 2022年10月16日査読有り最終著者
Modeling of Olsen cycle for pyroelectric energy harvesting and assessment of abnormal electrocaloric effect in ferroelectric single crystals

G. Taxil, M. Lallart, B. Ducharne, T. T. Nguyen, H. Kuwano, T. Ono, G. Sebald

Journal of Applied Physics 132(14) 2022年10月14日査読有り
Temperature depended resistive property of fermented soybeans (Japanese natto) as a temperature sensor material

Naoki Inomata, Takahito Ono

Japanese Journal of Applied Physics 61(10) 2022年10月1日査読有り最終著者
Widening frequency bandwidth with parametric coupling in a wings-inspired low frequency MEMS energy harvester

Jie Song, Cao Xia, Guansong Shan, Zhuqing Wang, Takahito Ono, Dong F. Wang

Energy Conversion and Management 267 2022年9月1日査読有り
Review of Magnetic Resonance Force Sensors Based on Nanomechanical Cantilever

Masaya Toda, Gaopeng Xue, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 142(9) 224-229 2022年9月1日査読有り
Micro-heat sink based on silicon nanowires formed by metal-assisted chemical etching for heat dissipation enhancement to improve performance of micro-thermoelectric generator

Nguyen Van Toan, Keisuke Ito, Truong Thi Kim Tuoi, Masaya Toda, Po Hung Chen, Mohd Faizul Mohd Sabri, Jinhua Li, Takahito Ono

Energy Conversion and Management 267 2022年9月1日査読有り
Demonstration of Heterogeneous Structure for Fabricating a Comb-Drive Actuator for Cryogenic Applications

Gaopeng Xue, Masaya Toda, Xinghui Li, Bing Li, Takahito Ono

Micromachines 13(8) 2022年8月査読有り
High-performance flexible thermoelectric generator for self-powered wireless BLE sensing systems

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Takahito Ono

Journal of Power Sources 536 2022年7月15日査読有り
Nanoengineered nanochannels for thermally ionic nanofluidic energy harvesting

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Naoki Inomata, Megat Muhammad Ikhsan Megat Hasnan, Masaya Toda, Ioana Voiculescu, Suhana Mohd Said, Takahito Ono

Energy Conversion and Management 264 2022年7月15日査読有り

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MISC

277

Microfabrication of functional polyimide films and microstructures for flexible MEMS applications

Zihao Dong, Qipei He, Dawei Shen, Zheng Gong, Deyuan Zhang, Wenqiang Zhang, Takahito Ono, Yonggang Jiang

Microsystems and Nanoengineering 9(1) 2023年12月
Review of Quality-factor Controls of Micro/Nano Mechanical Resonators using Structural Methods

Naoki Inomata, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 142(7) 127-132 2022年
Diamagnetic Levitation Thermometer

Naoki Inomata, Eiji Inomata, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering 15(5) 773-774 2020年5月1日
磁気共鳴を用いたラジカルセンシングのための磁気センサ

椎名司, 戸田雅也, 小野崇人

電気学会研究会資料 (MSS-20-020-045) 2020年
Capacitive Silicon Resonators: Performance Enhancement Methods

Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Capacitive Silicon Resonators: Performance Enhancement Methods 1-161 2019年7月9日
磁性絶縁体カンチレバーによるスピン波スピン流の検出

針井一哉, SEO Yong-Jun, 堤康雅, 中堂博之, 大柳洸一, 松尾衛, 塩見雄毅, 小野崇人, 前川禎通, 齊藤英治 …

日本物理学会講演概要集(CD-ROM) 74(1) 1252-1252 2019年
Nano and microsensors for mammalian cell studies

Ioana Voiculescu, Masaya Toda, Naoki Inomata, Takahito Ono, Fang Li

Micromachines 9(9) 2018年
バナジウムドープ二硫化モリブデン二次元膜の合成に関する研究

Zhu Minjie, Inomata Naoki, Ono Takahito

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 3p 2017年10月31日
磁歪材料を用いた共振型磁気センサ

江面大河, 猪股直生, 小野崇人

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 4p 2017年10月31日
ナノ電気機械ロジックスイッチの作製と評価

ZHAO DONG, NGUYEN VAN TOAN, ONO TAKAHITO

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 1-3 2017年10月31日
LOGICAL GATE CIRCUITS BASED ON NANOELECTROMECHANICAL SWITCHES (マイクロマシン・センサシステム研究会マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般)

ZHAO DONG, NGUYEN VAN TOAN, 小野崇人

電気学会研究会資料. MSS 2017(1) 21-25 2017年6月29日
High aspect silicon structures using metal assisted chemical etching

N. V. Toan, M. Toda, T. Ono

16th International Conference on Nanotechnology - IEEE NANO 2016 720-723 2016年11月21日査読有り
ピエゾ抵抗熱機関を利用した静電駆動型振動子

Nguyen Van Nha, Nguyen Van Toan, 小野崇人

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1-4 2016年10月2日
反応性イオンエッチングで形成した高密度ナノチャネルをもつオンチップマイクロクヌーセンポンプ (マイクロマシン・センサシステム研究会マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般)

諏訪亘, 猪股直生, 小野崇人

電気学会研究会資料. MSS 2016(9) 11-13 2016年6月29日
Investigation of bimaterial cantilever beam for heat sensing in liquid

I. Voiculescu, F. Liu, T. Ono, M. Toda

Sensors and Actuators, A: Physical 242 58-66 2016年5月1日査読有り
Bimaterial nanocantilever beam calorimeter for atmospheric pressure and liquid applications

Ioana Voiculescu, Masaya Toda, Takahito Ono, Fei Liu

Nanocantilever Beams: Modeling, Fabrication and Applications 411-429 2016年1月12日査読有り
141 反応性イオンエッチングにより作製したオンチップマイクロクヌーセンポンプ

諏訪亘, 猪股直生, 小野崇人

講演論文集 2016(51) 79-80 2016年
Fabrication of capacitive micromachined ultrasonic transducer arrays using glass reflow process and anodic bonding

N. V. Toan, S. Hahng, S. Hahng, Yunheub Song, T. Ono

Advanced Materials - TechConnect Briefs 2016 4 91-94 2016年査読有り
High aspect ratio SiO<inf>2</inf>pillar structures capable of the integration of an image sensor for application of optical modulator

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 136(2) 41-42 2016年査読有り
PREPATION OF GPHENE-NICKEL NANOCOMPOSITE FOR DUBLE MICROMIRROR APPLICATION

Jinhua Li, Zhonglie An, Takahito Ono

2016 IEEE 29TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) 2016-February 554-557 2016年

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書籍等出版物

(Book, Chapter) Micro-Thermoelectric Generators: Material Synthesis, Device Fabrication, and Application Demonstration

N. V. Toan, T. T. K. Tuoi, N. H. Trung, K. F. Sama, N. V. Hieu, T. Ono

InTechOpen publisher, “Energy Recovery” edited by Dr. Petrică Vizureanu, (2022) pp. 1-25 2022年
ナノチャンネルを用いた電解質型熱電変換

小野崇人, グェンバントアン

化学工学, 84, (2020), 287-289 2020年
Si-RF振動子とその応用

小野崇人

電子情報通信学会、102, 5 (2019) 398-402. 2019年
(Book) Capacitive Silicon Resonators: Performance Enhancement Methods

Nguyen Van Toan, Takahito Ono

CRC Press (Taylor & Francis Group), (2019) 2019年
(Book Chapter) Glass Patterning: Technologies and Applications

Nguyen Van Toan, Naoki Inomata, Masaya Toda, Takahito Ono

InTechOpen publisher, edited by Dr. Vincenzo M. Sglavo, pp. (2018),151-171. 2018年
(Book, Chapter) Dekker Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology, (Chapter) Microfabrication: Glass reflow, Third Edition Edited by Sergey Edward Lyshevski

Nguyen Van Toan, Takahito Ono

CRC press Mar 17, (2017) 2017年3月
(Book) Nanocantilever beams: Modeling, Fabrication, and Applications,(edited by Ioana Voiculescu), Bimaterial Nanocantilever Beam Calorimeter for Atmospheric Pressure and Liquid Applications

Ioana Voiculescu, Masaya Toda, Takahito Ono

2016年
これからのＭＥＭＳＬＳＩとの融合

江刺正喜, 小野崇人

(2016) 森北出版、1－150 2016年
産産学連携によるMEMS-LSI融合技術

小野崇人, 江刺正喜

Interlab, 110 (2014) 11-16 2014年
ナノ計測を可能にするツール

小野崇人 (担当:共著, 範囲:45-50)

2012年1月
集積化マイクロステージ

小野崇人 (担当:共著, 範囲:アクチュエータ -研究開発の最前線- （pp.126-130))

エヌティーエス出版 2011年7月
近接場のセンシング・イメージング技術への応用-最新のバイオ・化学・デバイス分野への展開-

民谷栄一, 小野崇人 (担当:共著, 範囲:第４章 MEMSプローブ（pp.42-54))

シーエムシー出版 2010年11月
エネルギーハーべスティング技術の最新動向

小野崇人 (担当:共著, 範囲:第３章熱電子発電（pp.164-170))

シーエムシー出版 2010年10月
MEMS/NEMS工学全集

小野崇人 (担当:共著, 範囲:pp.330-333、pp. 486-489、pp.740-745)

テクノシステム 2009年4月
MEMSマテリアルの最新技術

小野崇人 (担当:共著, 範囲:25－32)

シーエムシー出版 2007年12月
光ナノテクノロジー－近接場光学・微細加工の原理から最先端研究まで－

小野崇人 (担当:共著, 範囲:pp．47－51およびpp．124－132)

アドスリー 2004年1月
光でナノテク・ナノサイエンス

江刺正喜, 小野崇人, ファンミンゴ (担当:共著, 範囲:ナノ構造の光デバイス２１０６－１１８)

クバプロ 2003年10月
ナノテクノロジー大辞典

小野崇人 (担当:共著, 範囲:585-593)

工業調査会 2003年1月
ナノ光工学ハンドブック

小野崇人 (担当:共著, 範囲:３０８－３１５)

朝倉書店 2002年5月
Fabrication of silicon microprobes for optical near-field applications

P.N. Minh, T. Ono, M. Esashi (担当:共著)

CRC 2002年4月

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講演・口頭発表等

(Invited talk)Microfabrication of BiTeSb thermoelectric devices for applications to IoT sensors

Takahito Ono

International Conference on Semiconductor Technology for Ultra Large Scale Integrated Circuits and Thin film Transistors (ULSIC VS TFT 8), Otaru, Japan, May 14-18, 2023. 2023年5月招待有り
(Invited talk)Microfabrication of thermoelectric devices and applications to autonomous IoT sensing

Takahito Ono

13th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics, Jan 23, Sendai, Japan, (2023) 2023年1月23日招待有り
(Invited talk) Heat storage thermoelectric generator for wireless IoT sensing systems

Takahito Ono, Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi

The 2022 International Meeting for Future of Electron Devices, Nov. 28-30 (IMFEDK 2022), (2022) 2022年11月招待有り
(Plenary talk)Nanoengineered Microsystems ~IoT, Health, and Environment Applications

T. Ono

The 3rd International Workshop on Engineering Physics, IC-MEMS-Sensors and Their Applications, Ho Chi Minh City, Viet Nam, 25-26 November (2022) 2022年11月招待有り
(Invited talk)Autonomous IoT Sensing System Based on Thermal Energy Harvesting

T. Ono

The 5th International Conference on Software Engineering and Information Management(ICSIM2022) 2022年招待有り
(Invited talk) Thermoelectric Micropower Devices for IoT Sensing

T. Ono

240th ECS Meeting 2021, USA, October 10 2021年10月10日招待有り
(Invited talk)Nanoengineered thermoelectric energy harvester for battery free IoT sensing

Takahito Ono

The 4th International Conference on Software Engineering and Information Management, 17 Jan., 2021, Yokohama, Japan. 2021年1月17日招待有り
Nanoengineered Energy Harvesting System for Health Care Devices

Takahito Ono

The 17th International Conference on Flow Dynamics, 29 Oct 2020, Sendai, Japan 2020年10月29日招待有り
(Invited talk)Nanoengineered Energy Harvesting System for Health Care Devices

Takahito Ono

The 17th International Conference on Flow Dynamics (ICFD2020), 29 Oct 2020. 2020年10月29日招待有り
Nanoengineered Microsystems and Hetero-System Integration for Miniature and Wearable IoT Sensors and Energy Harvesting Devices

Takahito Ono

2020 Japan New Energy and Sustainable DevelopmentSymposium, 31, Jan, Jakarta, Indonesia 2020年1月31日招待有り
(Invited talk)VACUUM-SEALED RESONANT MICROELECTROMECHANICAL RESONANT SENSORS FOR NONINVASIVEE DETECTION OF HEALTH

Takahito Ono

The 7th International Workshop on Nanotechnology and Application, November 6-9, 2019Phan Thiet, Vietnam 2019年11月招待有り
(Invited talk) Micro/nano systems for IoT sensor applications,

Takahito Ono

1st Workshop on Micro/Nano Systems and Their Applications (WMSA), 5 Nov., Hochiminh, Vietnum, (2019). 2019年11月5日招待有り
(Invited talk)Nanoengineered thermoelectric energy devices for IoT sensing applications,

Takahito Ono, Trung Nguyen, Khairul Fadzli Sama, Nguyen Van Toan

Electrochemical Society Meeting, Atranta, USA, 13-17 Oct, 2019 2019年10月招待有り
(Invited talk)Microsystems for thermal energy powering

Takahito Ono

The 7th ULSIC vs. TFT conference, Semiconductor Technology for Ultra Large Scale Integrated Circuits and Thin Film Transistors VII, May 19-23, 2019, Palace Side Hotel Kyoto, Japan. 2019年5月招待有り
(Invited talk)Micro/Nanomechanical Resonators for Sensing Applications

Takahito Ono

The 6th international conference of Spin Mechanics, Feb. 26th - 28th, Yamagata, Japan (2019). 2019年2月招待有り
(Invited talk)Nanoengineering in thermoelectric material processing for microsystem applications,

Takahito Ono

12th International WorkShop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics, Dec 6-7, Sendai, Japan, (2018) 2018年12月招待有り
Plenary talk) Microthermoelectric devices;applications

Takahito Ono

Thermoelectric Society Symposium, Malaya, Malaysia, 21 Sep, (2018) 2018年9月21日招待有り
(Invited talk) Flexible Thermoelectric Micro Power Generator for Wearable Devices

Takahito Ono

Microsystems & Nanoengineering Summit 2018 (MINE 2018) July, China (2018) 2018年7月招待有り
(Invited talk)Response Enhancement of Micro/Nanoelectromechanical Resonators,

Takahito Ono

Nanomechanical Sensing conference (MNC), 26-29 June, Inchone, Korea, (2018) 2018年6月招待有り
(Invited talk) NANOCOMPOSITES SYNTHESIS AND APPLICATIONS TO MICROSYSTEMS

Takahito Ono

The 6th International Workshop on Nanotechnology and Application - IWNA 2017, - Phan Thiet, Vietnam, 08 -11 November (2017) 2017年11月招待有り

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担当経験のある科目(授業)

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

イオン液体をイオン種としたマルチ集束イオンビームの研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2021年4月 - 2024年3月

桑野博喜, LE VANMINH, 小野崇人
熱量センサによる細胞の熱力学計測

日本学術振興会科学研究費助成事業新学術領域研究(研究領域提案型) 2016年4月 - 2018年3月

小野崇人
共振型光音響センサ

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究 2016年4月 - 2018年3月

小野崇人
フェムトワット熱量センサ

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2013年4月 - 2016年3月

小野崇人, 戸田雅也, 川合祐輔
狭ギャップ熱電子素子

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究 2013年4月 - 2015年3月

小野崇人, 戸田雅也, 川合祐輔
カーボンナノチューブ複合材料の設計・合成・評価ループ構築と高機能化に関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(S) 2009年5月 - 2014年3月

橋田俊之, 田路和幸, 高木敏行, 小野崇人, 胡寧, 大森守, 山本剛
確率共鳴で動作するナノ機械によるセンシング

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(S) 2008年 - 2012年

小野崇人
超並列電子線直接描画に関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(S) 2007年 - 2011年

江刺正喜, 小野崇人, 田中秀治, 戸津健太郎, 川合祐輔, 宮下英俊
ナノエネルギーシステム創生の研究

日本学術振興会科学研究費助成事業学術創成研究費 2006年 - 2010年

桑野博喜, 西澤松彦, 小野崇人, 折茂慎一, 田中秀治, 長澤純人, 安部隆, 岡本洋, 小貫哲平, 曹自平, 濱手雄一郎, 大口裕之
シリコンナノ膜をベースとした新奇低次元構造・物性制御

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2007年 - 2009年

藤川安仁, 小野崇人, AL-MAHBOOB A, 小野崇人, 秋山琴音, CHEN Mingwei
特異な非線形性をもつマイクロ・ナノ機械

日本学術振興会科学研究費助成事業萌芽研究 2008年 - 2008年

小野崇人
ナノメカニカル・単電子トランジスタによるナノセンシング

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2007年 - 2008年

小野崇人, 田中秀治, 戸津健太郎, 江刺正喜
多自由度集積化マイクロステージ

日本学術振興会科学研究費助成事業特定領域研究 2007年 - 2008年

小野崇人
次世代マイクロダイヤモンドツールの3Dナノメートルエッジ形状の高速高精度計測

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2006年 - 2008年

高偉, 小野崇人, 厨川常元, 清水浩貴, 荒井義和, 居冰峰
テラヘルツ波ナノ分光MEMSデバイス

日本学術振興会科学研究費助成事業萌芽研究 2006年 - 2007年

小野崇人, 江刺正喜
表面歪み場を新しいパラメータとしたナノ構造作製とその機械・電子物性の制御

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2006年 - 2007年

櫻井利夫, 藤川安仁, 中山幸仁, 小野崇人, サドウスキー J・T, 高村由起子
原子分解能・走査型化学プローブのための能動的非線形バネをもつアクチュエータ

日本学術振興会科学研究費助成事業特定領域研究 2005年 - 2006年

小野崇人
マイクロマシニングによる高周波MEMSデバイス

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2004年 - 2006年

江刺正喜, 小野崇人, 田中秀治, 戸津健太郎
高感度振動子によるバイオ・3次元ナノイメージング

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(A) 2004年 - 2005年

小野崇人
ナノチューブを用いた次世代3次元ピコインデンターチップに関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業萌芽研究 2004年 - 2005年

高偉, 小野崇人, 清水浩貴