基本情報

所属
豊田工業大学 大学院工学研究科 教授
学位
博士(工学)

J-GLOBAL ID
200901024775577848

外部リンク

応用物理学会 集積化MEMS研究会 2019年春シンポジウム担当(2018.10現在)
電気学会E部門 マイクロマシン・センサシステム(MSS)技術委員会 委員長(2018.10現在)
文部科学省 ナノテクノロジープラットフォーム 平成24-33年度 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム 実施機関責任者

論文

  25

書籍等出版物

  9

講演・口頭発表等

  6

共同研究・競争的資金等の研究課題

  21