2002年10月 エレクトロニクス材料シリーズ 新しいレジスト材料とナノテクノロジー 山田 啓文 担当区分 分担執筆 担当範囲 第10章「走査プローブ顕微鏡のナノリソグラフィーへの応用」 出版者・発行元 シーエムシー 総ページ数 担当ページ pp. 191-202 記述言語 日本語 著書種別 学術書
