特許権 原子間力顕微鏡におけるカンチレバー励振方法及び原子間力顕微鏡 粉川 良平, 大田 昌弘, 梅田 健一, 大藪 範昭, 小林 圭, 山田 啓文, 松重 和美 出願番号 特願2010-128127 出願日 2010年6月3日