特許権 超音波加工用工具 国立大学法人横浜国立大学 篠塚 淳 出願番号 2008-0282520 出願日 2008年10月31日 公開番号 2010-105142 公開日 2010年5月13日 特許番号/登録番号 5477784 登録日 発行日 2014年2月21日 薄硬質材と薄軟質材を積層したサンドウィッチ工具を放電加工の工具とし，超音波微細溝加工をするもの
