2017年9月
マイクロ波励起大気圧プラズマの照射による炭素系硬質膜の親水性向上
表面技術協会第136回講演大会
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- 記述言語
- 英語
- 会議種別
- 口頭発表(一般)
自作したマイクロ波励起大気圧プラズマトーチを用いて、Ar+O2プラズマの照射によりダイヤモンドとDLC膜の親水性が10°以下になる超親水性が発現することを明らかにした。また、DLC膜については、効率的なエッチングも可能で、マスキング等を利用することで、局部的な除幕や親水化が可能であることを示した。