本間哲哉 (Tetsuya Homma) - マイポータル

基本情報

所属: 芝浦工業大学 (名誉教授)

学位: 博士(工学)(東京工業大学)
工学修士(芝浦工業大学)

J-GLOBAL ID: 200901032450098822
researchmap会員ID: 1000209794

外部リンク: https://sites.google.com/view/homma-professional-engineer/

研究分野

経歴

2024年4月 - 現在

本間技術士事務所
2003年4月 - 2024年3月

- : 工学部教授
1996年4月 - 2003年3月

: 工学部 j助教授
1983年4月 - 1996年3月

:日本電気株式会社

委員歴

2010年

（社）電気設備学会, 評議員，全国大会実行委員会委員
2008年

（社）応用物理学会・集積化MEMS技術研究会, 委員・企画
1999年 - 2000年

（社）応用物理学会・シリコンテクノロジー分科会, 幹事

論文

Effect on Etch Rate and Surface Roughness of Crystal Orientation of Polycrystalline Silicon Used for Consumable Parts of Reactive Ion Etching Equipment

T. Matsumoto, T. Homma

ECS Journal of Solid State Science and Technology 11(8) Online 2022年8月22日査読有り最終著者
Recycling SiC Focus Rings for Reactive Ion Etching Equipment by Insertless Diffusion Bonding using Hot Isostatic Pressing

T. Matsumoto, J. Kataoka, R. Saito, T. Homma

ECS Journal of Solid State Science and Technology 9(12) Online 2020年12月21日査読有り最終著者
Improvement of Process Reproducibility and Particle Reduction for YF3 Coating by Collision Assisted Sintering Process in Reactive Ion Etching

The Electrochemical Society (ECS) Journal of Solid State Science and Technology 9(6) 2020年7月21日査読有り最終著者
Effect of Drying Condition of Emitting Layer Formed by Ink-Jet Coating on Optical Property and Film Morphology of Polymer-Based Organic Light-Emitting Diodes

8(2) R36-R41 2019年3月査読有り最終著者
Properties of Ce3+ doped Y3Al5O12 phosphor nanoparticles formed by laser ablation in liquid for LEDs

7(6) R63-R69 2018年5月査読有り最終著者
Effect of sintering temperature of Ce3+ doped Lu3Al5O12 phosｬphor on light emission and properties of crystal structure for white LEDs

25(3) 340-348 2018年3月査読有り最終著者
プラズマ生成用電源におけるプッシュプル型MOS-FETインバータの電力変換効率と損失電力

杉本一弘, 濱岡淳二, 奥野雅之, 迫邦洋, 本間哲哉

電気学会論文誌. D, 産業応用部門誌 136(8) 511-521 2016年6月査読有り最終著者
Stabilization of impedance matching system using RF transformer

Sugimoto, Kazuhiro, Watakabe, Mineo, Okuno, Masayuki, Homma, Tetsuya

IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials 136(7) 404-408 2016年1月査読有り最終著者
Fabrication process of thick fluorescent layer for flat panel displays using a new paste supply system

Tsuchiya, Hitoshi, Tsuchiya, Hitoshi, Miyauchi, Kou, Homma, Tetsuya

Optical Review 22(4) 647-653 2015年8月査読有り最終著者
Laser beam scanning system for irradiation in an external quadrangular form for soldering of quad flat package IC

Tsuchiya, Hitoshi, Tsuchiya, Hitoshi, Homma, Tetsuya

Optical Review 22(1) 2015年2月査読有り最終著者
廃棄FPD･CRT･蛍光管等からの有用金属の抽出技術”, セラミックス, Vol. 47 (2),「特集環境問題とガラスのリサイクル技術」, pp. 110-112 (2012. 2. 7)

○本間哲哉

セラミックス 47(2) 110-112 2012年2月査読有り
Electrochemical Analyses of Metal Ions in HF and H2SiF6 Aqueous Solution for Recycling Silicate Glasses of Cathode-Ray Tube by Liquid-Phase Deposition

57(3) 114-119 2010年9月査読有り
An Outlier Removal Method for SPC in Semiconductor Manufacturing

3(4) 292-298 2010年7月査読有り
Tool Difference Transition Visualization for Semiconductor Manufacturing

KUBO Tomoaki, MINAMI Masateru, HOMMA Tetsuya

JCMSI : SICE journal of control, measurement, and system integration (SICE JCMSI) 3(3) 187-192 2010年5月査読有り
A Statistical Process Control Method for Semiconductor Manufacturing

KUBO T.

SICE Journal of Control, Measurement, and System Integration 2(4) 246-254 2009年7月査読有り
Normal-Dispersion Passively Mode-Locked Ytterbium-Doped Fiber Laser with a Fundamental Repetition Rate Higher than 400 MHz

Dai Yoshitomi, Taisuke Kawasaki, Takashi Aoki, Yohei Kobayashi, Norio Nakamura, Tetsuya Homma, Hiroshi Kawata, Kenji Torizuka

2009 CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-OPTICS AND QUANTUM ELECTRONICS AND LASER SCIENCE CONFERENCE (CLEO/QELS 2009), VOLS 1-5 281-+ 2009年査読有り
Fabrication and Characteristics of Thin-film Optical Switches Using Fluorinated Silicon Oxide Deposited by a Liquid-Phase Technique

TAKISHITA Isamu, KUROSU Kenji, HOMMA Tetsuya

Optical review 15(6) 265-268 2008年12月査読有り
Comparison of Flow Models for Photoresist Behavior at Contact Holes in Thermal Flow Process

154(10) H894-H898 2007年10月査読有り
Behavior of Reaction Products during Puddle Development in Fabrication of Ultra-large Scale Integrations

154(9) H764-H768 2007年9月査読有り
Effect of Temperature for Photoresist Critical Dimension during Puddle Development

46(6) 3354-3358 2007年6月査読有り

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MISC

研究室紹介

本間哲哉

真空ジャーナル (167) 24-25 2019年1月筆頭著者
廃棄電子機器からの分別不要な有用金属回収技術の開発

○本間哲哉

2015年12月
廃棄電子機器などからの有用金属回収技術

○本間哲哉

2015年10月
廃棄FPD・CRT・蛍光管・プリント基板などからの有用金属の回収技術

○本間哲哉

月刊ディスプレイ 2012年10月
廃棄FPD・CRT・蛍光管・プリント基板などからの有用金属の回収技術

○本間哲哉

月刊ディスプレイ 18(10) 74-79 2012年10月
400MHz高基本繰り返しYbファイバーモード同期発振器

吉富大, 川崎泰介, 青木崇, 小林洋平, 小林洋平, 中村典雄, 本間哲哉, 河田洋, 鳥塚健二

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 56th(3) 2009年
高繰り返し高強度超短パルスYbファイバレーザーシステムの開発

青木崇, 吉富大, 吉富大, 谷修一, 小林洋平, 小林洋平, 横井秀樹, 本間哲哉, 鳥塚健二, 鳥塚健二

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 55th(3) 2008年
12fsチタンサファイアチャープパルス増幅システムのキャリアエンベロープ位相安定化

高宮浩彰, 高田英行, 欠端雅之, 小林洋平, 鳥塚健二, 本間哲哉

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 53rd(3) 2006年
光電場波形制御チャープパルス増幅システム

欠端雅之, 西嶋一樹, 高宮浩彰, 高田英行, 小林洋平, 本間哲哉, 高橋英郎, 鳥塚健二

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 52nd(3) 2005年
高強度超短パルスレーザのキャリアエンベロープ位相制御

欠端雅之, 高田英行, 小林洋平, 鳥塚健二, 西嶋一樹, 高宮浩彰, 本間哲哉, 高橋英郎

電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集(CD-ROM) 2005 2005年
キャリアエンベロープ位相シフトと波形制御が可能なチャープパルス増幅システム

西嶋一樹, 高宮浩彰, 本間哲哉, 高橋英郎, 欠端雅之, 高田英行, 小林洋平, 鳥塚健二

電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会 2004(11) 31-36 2004年9月10日
波形整形器を用いたキャリアエンベロープ位相シフトの動的制御

西嶋一樹, 欠端雅之, 高宮浩彰, 高田英行, 小林洋平, 本間哲哉, 高橋英郎, 鳥塚健二

応用物理学会学術講演会講演予稿集 65th(3) 2004年
キャリア-エンベロープ位相制御増幅システムの評価

欠端雅之, 高宮浩彰, 西嶋一樹, 大久保克明, 高田英行, 小林洋平, 本間哲哉, 高橋英郎, 鳥塚健二

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 51st(3) 2004年
自己参照型スペクトル干渉CEP計測法で生じる誤差

高宮浩彰, 欠端雅之, 西嶋一樹, 高田英行, 小林洋平, 本間哲哉, 高橋英郎, 鳥塚健二

応用物理学会学術講演会講演予稿集 65th(3) 2004年
等しいキャリア-エンベロープ位相を有するパルス抜き出しの高精度化

欠端雅之, 高宮浩彰, 大久保克明, 高田英行, 小林洋平, 本間哲哉, 高橋英郎, 鳥塚健二

応用物理学会学術講演会講演予稿集 64th(3) 2003年
等しいキャリア-エンベロープ位相を有するパルスの抜き出し

藤平好彦, 欠端雅之, 小林洋平, 高田英行, 鳥塚健二, 本間哲哉, 高橋英郎

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 50th(3) 2003年
サブ10fsチタンサファイアレーザー発振器の高精度キャリアエンベロープ位相制御

高田英行, 小林洋平, 欠端雅之, 藤平好彦, 鳥塚健二, 本間哲哉, 高橋英郎

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 50th(3) 2003年
高次非線形現象によるキャリアエンベロープ位相検出の検討

藤平好彦, 欠端雅之, 小林洋平, 高田英行, 鳥塚健二, 本間哲哉, 高橋英郎

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 49th(3) 2002年
サブ10fsチタンサファイアレーザー発振器のキャリアエンベロープ位相検出と制御

高田英行, 小林洋平, 欠端雅之, 藤平好彦, 鳥塚健二, 本間哲哉, 高橋英郎

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 49th(3) 2002年
フッ素添加酸化シリコン薄膜の光デバイスへの応用

○本間哲哉, 井之原和明, 谷口祐樹, 野本雅洋, 堀江正樹, 高橋英郎

芝浦工業大学先端工学研究機構情報・環境材料研究センター成果報告会 15-21 2001年12月筆頭著者

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講演・口頭発表等

205

反応性イオンエッチング装置の上部電極ガス放出穴の垂直化の検討

松本哲之, 本間哲哉

第82回応用物理学会秋季学術講演会（講演予稿集, 12a-S401-4） 2021年9月12日
反応性イオンエッチング装置の単結晶、多結晶シリコン部品のエッチングによる変化

松本哲之, 本間哲哉

第82回応用物理学会秋季学術講演会（講演予稿集, 12a-S401-3） 2021年9月12日
無線ネットワークのノイズによる静電チャックへの影響

三田浩史, 本間哲哉

第68回応用物理学会春季学術講演会（講演予稿集, 19a-Z02-2） 2021年3月19日
衝撃焼結法により形成したフッ化イットリウムのグレインサイズと組成がエッチング耐性に及ぼす影響

松本哲之, 本間哲哉

第68回応用物理学会春季学術講演会（講演予稿集,17a-Z04-4） 2021年3月17日
SiCフォーカスリングリサイクルのための洗浄方法の検討

松本哲之, 本間哲哉

第68回応用物理学会春季学術講演会（講演予稿集, 17a-Z04-5） 2021年3月17日
液中レーザアブレーション法により生成したY3Al5O12: Ce3+ 蛍光体における白色LEDの発光特性

小泉洋, 渡部純也, 杉山伸, 平林英明, 徳野陽子, 和田裕之, 本間哲哉

第66回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集 2019年3月応用物理学会
Lu3Al5O12: Ce3+蛍光体の結晶性と発光特性の焼成温度依存性

○小泉洋,渡部純也,杉山伸,平林英明,本間哲哉

第79回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集 2018年9月（公社）応用物理学会
Lu3Al5O12;Ce3+蛍光体の発光特性に及ぼすAl組成比の効果

○小泉洋,渡部純也,杉山伸,平林英明,本間哲哉

第79回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集 2018年9月（公社）応用物理学会
液中レーザアフレーション法により生成したY3Al5O12:Ce3+蛍光体の発光特性

○小泉洋,渡部純也,杉山伸,徳野陽子,平林英明,和田裕之,本間哲哉,

電気化学会第85大会, 講演予稿集 2018年3月（公社）電気化学会
ボッシュプロセスにおけるプラズマ発生時の入射波と反入射波

○杉本一弘,濵岡淳二,迫邦洋,本間哲哉

2016年度放電学会年次大会, 講演論文集 2016年11月放電学会
プラズマ化学気相成長法により形したSiOF薄膜の光学特性の評価

○工藤拓麿,本間哲哉

2016年度放電学会年次大会, 講演論文集 2016年11月放電学会
高周波出力変成器の電力損失と発熱

○杉本一弘,渡壁峰生,迫邦洋,本間哲哉

2016年度放電学会年次大会, 講演論文集 2016年11月放電学会
ICP 装置における不平衡接続および平衡接続のアンテナ電位の比較

○杉本一弘,渡壁峰生,奥野雅之,本間哲哉,

2015年放電学会年次大会講演論文集 2015年12月放電学会
ディスペンサシステムによる蛍光体ペーストの厚膜形成方法

土屋均,本間哲哉

第76回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集 2015年9月（公社）応用物理学会
マルチノズルによる蛍光体ペーストの厚膜塗布方法

土屋均,本間哲哉

第76回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集 2015年9月（公社）応用物理学会
レーザ光スキャンはんだ付けシステムで形成したはんだ接合部の特性

土屋均,本間哲哉

第76回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集 2015年9月（公社）応用物理学会
蛍光体の厚膜ペーストを形成するペースト供給方法

○土屋均,宮内攻,本間哲哉

第62回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集 2015年3月（公社）応用物理学会
QFP-ICはんだ付けのためのレーザ光スキャンプロセス評価

○土屋均,本間哲哉

第62回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集 2015年3月（公社）応用物理学会
レーザ光スキャンシステムを用いたQFP-ICはんだ付け

○土屋均,本間哲哉

第62回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集 2015年3月（公社）応用物理学会
ICP 装置における不平衡接続および平衡接続間での圧力変動に対する反射波比較

○杉本一弘,濵岡淳二,奥野雅之,本間哲哉

2014年度放電学会年次大会, 講演論文集 2014年12月放電学会

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所属学協会

Works(作品等)

共同研究・競争的資金等の研究課題

廃棄ＦＰＤ・ＣＲＴ・プリント配線板等からの有用金属リサイクル技術の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2011年 - 2013年

本間哲哉
廃棄ガラス/廃液フッ化水素からのガラスリサイクルと金属元素分離メカニズム

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2004年 - 2005年

本間哲哉
選択液相成長フッ素添加酸化シリコン薄膜を用いる光波制御デバイスに関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2001年 - 2003年

本間哲哉, 高橋英郎
有機電界発光素子の高効率化と安定性の改善

日本学術振興会科学研究費助成事業国際学術研究 1997年 - 1998年

長友隆男, 蒋雪茵, 張志林, 本間哲哉
FPD・CRT・蛍光管からの有用金属回収・リサイクルに関する研究

本間哲哉

基本情報

研究分野

経歴

委員歴

論文

MISC

講演・口頭発表等

所属学協会

Works(作品等)

共同研究・競争的資金等の研究課題

産業財産権

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