MISC

2016年3月3日

ネオンイオンを注入したシリコンのアニールによる構造変化

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)

羽渕仁恵
北川淳嗣
園原康介
飯田民夫
大橋史隆
伴隆幸
久米徹二
野々村修一

巻: 63rd
号
開始ページ: ROMBUNNO.21P-S223-12
終了ページ
記述言語: 日本語
掲載種別

リンク情報

J-GLOBAL: https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201602200348248959
URL: http://jglobal.jst.go.jp/public/201602200348248959

ID情報

J-Global ID : 201602200348248959

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