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2015年3月

キセノンイオンを注入したシリコンのアニールによる構造変化 II

第62回応用物理学会春季学術講演会予稿集（東海大学湘南キャンパス、2015年3月11-14）、13a-A25-13.

北川淳嗣
藤田詩織
羽渕仁恵
飯田民夫
大橋史隆
伴隆幸
久米徹二
野々村修一

巻: 62nd
号
開始ページ: ROMBUNNO.13A-A25-13
終了ページ
記述言語: 日本語
掲載種別

リンク情報

J-GLOBAL: https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201502237566798971
URL: http://jglobal.jst.go.jp/public/201502237566798971

ID情報

J-Global ID : 201502237566798971

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