共同研究・競争的資金等の研究課題

2015年4月 - 2017年3月

高指数面基板上の副格子交換エピタキシーによる半導体多層膜結合共振器の研究

日本学術振興会  科学研究費助成事業  挑戦的萌芽研究

課題番号
15K13956
体系的課題番号
JP15K13956
担当区分
研究代表者
配分額
(総額)
3,900,000円
(直接経費)
3,000,000円
(間接経費)
900,000円
資金種別
競争的資金

代表的なIII-V族化合物半導体であるガリウムヒ素薄膜の高指数(113)B面基板上へのエピタキシャル成長において、IV族元素であるゲルマニウムを中間層として挿入することにより、その上下で副格子の配列を交換して成長する副格子交換エピタキシーを実現した。この技術を利用することで、上下の共振器層で二次非線形感受率の符号が異なる分極反転型の半導体多層膜結合共振器をエピタキシャル成長だけで高品質に作製できることも実証した。未開拓周波数領域の電磁波であるテラヘルツ波を簡易に発生する新奇発光素子を実現させるうえで重要となる作製技術の開発に成功した。

リンク情報
KAKEN
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15K13956
URL
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15K13956/
ID情報
  • 課題番号 : 15K13956
  • 体系的課題番号 : JP15K13956