2019年9月 局所的な膜厚揺らぎによる高Q値Siナノ共振器の動作波長ばらつき 第80回応用物理学会秋季学術講演会 北海道大学 田中 捺美, 田中 健悟, 浅野 卓, 野田 進, 高橋 和 巻 19p-E207-4 号 エクスポート BibTeX RIS