松尾 二郎

J-GLOBALへ         更新日: 19/11/14 02:52
 
アバター
研究者氏名
松尾 二郎
 
マツオ ジロウ
所属
京都大学
部署
大学院工学研究科 附属量子理工学研究実験センター 工学研究科 量子理工学教育研究センター
職名
准教授,准教授
学位
工学博士(京都大学)

研究分野

 
 

学歴

 
 
 - 
1984年
京都大学 電気通信学部 電子工学
 

論文

 
P. Thopan, T. Seki, L. D. Yu, U. Tippawan, J. Matsuo
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   450 139-143   2019年7月   [査読有り]
P. Thopan, T. Seki, L. D. Yu, U. Tippawan, J. Matsuo
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   448 11-18   2019年6月   [査読有り]
Prutchayawoot Thopan, Hubert Gnaser, Rika Oki, Takaaki Aoki, Toshio Seki, Jiro Matsuo
INTERNATIONAL JOURNAL OF MASS SPECTROMETRY   430 149-157   2018年7月   [査読有り]
Hubert Gnaser, Wolfgang Bock, Jiro Matsuo
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B   36(3) 03F106   2018年5月   [査読有り]
松尾 二郎
表面科学学術講演会要旨集   2018 363   2018年1月
瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
電気学会研究会資料. OQD = The papers of technical meeting on optical and quantum devices, IEE Japan   2018(22) 29-33   2018年1月
Bostjan Jencic, Luka Jeromel, Nina Ogrinc Potocnik, Katarina Vogel-Mikus, Primoz Vavpetic, Zdravko Rupnik, Klemen Bucar, Matjaz Vencelj, Mitja Kelemen, Jiro Matsuo, Masakazu Kusakari, Zdravko Siketic, Muhammad A. Al-Jalali, Abdallah Shaltout, Primoz Pelicon
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   404 140-145   2017年8月   [査読有り]
Toshio Seki, Hiroki Yamamoto, Takahiro Kozawa, Tadashi Shojo, Kunihiko Koike, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   56(6) 06HB02   2017年6月   [査読有り]
T. Seki, H. Yamamoto, T. Kozawa, K. Koike, T. Aoki, J. Matsuo
APPLIED PHYSICS LETTERS   110(18) 182105   2017年5月   [査読有り]
羽田 真毅, 鈴木 達也, 阿部 伸行, 有馬 孝尚, 沖本 洋一, 腰原 伸也, 慶尾 直哉, 村上 寛虎, 西川 亘, 山下 善文, 林 靖彦, 横谷 尚睦, 松尾 二郎, 浅香 透
日本物理学会講演概要集   72 1128-1128   2017年1月
松尾 二郎
質量分析   65(1) 1-1   2017年1月
K. Suzuki, M. Kusakari, M. Fujii, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS   48(11) 1119-1121   2016年11月   [査読有り]
Takaaki Aoki, Toshio Seki, Jiro Matsuo
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY   306 63-68   2016年11月   [査読有り]
Makiko Fujii, Rie Shishido, Takaya Satoh, Shigeru Suzuki, Jiro Matsuo
RAPID COMMUNICATIONS IN MASS SPECTROMETRY   30(14) 1722-1726   2016年7月   [査読有り]
Takaya Satoh, Hironobu Niimi, Naoki Kikuchi, Makiko Fujii, Toshio Seki, Jiro Matsuo
INTERNATIONAL JOURNAL OF MASS SPECTROMETRY   404 1-7   2016年6月   [査読有り]
Toshio Seki, Yu Yoshino, Takehiko Senoo, Kunihiko Koike, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   55(6) 06HB01   2016年6月   [査読有り]
Hubert Gnaser, Masakazu Kusakari, Makiko Fujii, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B   34(3) 03H102   2016年5月   [査読有り]
Masakazu Kusakari, Makiko Fujii, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B   34(3) 03H111   2016年5月   [査読有り]
Yuta Yokoyama, Satoka Aoyagi, Makiko Fujii, Jiro Matsuo, John S. Fletcher, Nicholas P. Lockyer, John C. Vickerman, Melissa K. Passarelli, Rasmus Havelund, Martin P. Seah
ANALYTICAL CHEMISTRY   88(7) 3592-3597   2016年4月   [査読有り]
Toshio Seki, Masakazu Kusakari, Makiko Fujii, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   371 189-193   2016年3月   [査読有り]

Misc

 
Reaction kinetics of atomic chlorine on si(100)2x1
Kazuhiro Karahashi; Jiro Matsuo; Kei Horiuchi
Materials Research Society Symposium Proceedings   280 189-192   1993年   [査読有り]
Bombarding effects of gas cluster ion beams on sapphire surfaces; characteristics of modified layers and their mechanical and optical properties
D. Takeuchi; J. Matsuo; I. Yamada
Materials Research Society Symposium - Proceedings   396 279-284   1996年   [査読有り]
Lateral sputtering by gas cluster ion beams and its applications to atomic level surface modification
Isao Yamada; Jiro Matsuo
Materials Research Society Symposium - Proceedings   396 149-154   1996年   [査読有り]
Nanoscale processing by gas-cluster ion beams: novel technique in ion-beam processing
Isao Yamada; Jiro Matsuo
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering   2779 759-764   1996年   [査読有り]
Cluster ion implantation for shallow junction formation
Jiro Matsuo; Daisuke Takeuchi; Takaaki Aoki; Isao Yamada
Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology   768-771   1996年   [査読有り]
Range and damage distribution in cluster ion implantation
I. Yamada; J. Matsuo; E.C. Jones; D. Takeuchi; T. Aoki; K. Goto; T. Sugii
Materials Research Society Symposium - Proceedings   438 363-374   1996年   [査読有り]
Surface processing by gas cluster ion beams
Noriaki Toyoda; Jiro Matsuo; Isao Yamada
Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology   808-811   1996年   [査読有り]
Molecular Dynamics Simulation of Fullerene Cluster Ion Impact
Aoki, Takaaki; Seki, Toshio; Tanomura, Masahiro; Matsuo, Jiro; Insepov, Zinetulla; Yamada, Isao
Mat. Res. Soc. Symp. Proceedings,504, pp. 81-86      1998年   [査読有り]
Size Dependence of Bombardment Characteristics Produced by Cluster Ion Beam
Seki, Toshio; Tanomura, Masahiro; Aoki, Takaaki; Matsuo, Jiro; Yamada, Isao
Mat. Res. Soc. Symp. Proceedings,504, pp. 93-98      1998年   [査読有り]
Ultra shallow junction formation by cluster ion implantation
Jiro Matsuo; Takaaki Aoki; Ken-ichi Goto; Toshihiro Sugii; Isao Yamada
Materials Research Society Symposium - Proceedings   532 17-22   1998年   [査読有り]
Computer simulation of annealing after cluster ion implantation
Z. Insepov; T. Aoki; J. Matsuo; I. Yamada
Materials Research Society Symposium - Proceedings   532 147-152   1998年   [査読有り]
Channel engineering using B10H14 ion implantation for low Vth and high SCE immunity of buried-channel PMOSFETs in 4-Gbit DRAMs and beyond
T. Tanaka; H. Ogawa; K. Goto; K. Itabashi; T. Yamazaki; J. Matsuo; T. Sugii; I. Yamada
Digest of Technical Papers - Symposium on VLSI Technology   88-89   1998年   [査読有り]
STM observations of the annealing process of the damage caused by ion impact
Toshio Seki; Jiro Matsuo; Isao Yamada
Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology   2 1262-1265   1999年   [査読有り]
High quality oxide film formation by O2 cluster ion assisted deposition technique
J. Matsuo; W. Qin; M. Akizuki; T. Yodoshi; I. Yamada
Materials Research Society Symposium - Proceedings   504 87-92   1999年   [査読有り]
Size dependence of bombardment characteristics produced by cluster ion beams
T. Seki; M. Tanomura; T. Aoki; J. Matsuo; I. Yamada
Materials Research Society Symposium - Proceedings   504 93-98   1999年   [査読有り]
Formation of shallow junctions using decaborane molecular ion implantation; Comparison with molecular dynamics simulation
Majeed A. Foad; Roger Webb; Roger Smith; Erin Jones; Amir Al-Bayati; Mark Lee; Vikas Agrawal; Sanjay Banerjee; Jiro Matsuo; Isao Yamada
Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology   1 106-109   1999年   [査読有り]
Computer simulation of decaborane implantation and rapid thermal annealing
Zinetulla Insepov; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo; Isao Yamada
Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology   2 807-810   1999年   [査読有り]
Formation of oxide thin films for optical applications by O2-cluster ion beam assisted deposition
H. Katsumata; J. Matsuo; T. Nishihara; T. Tachibana; E. Minami; K. Yamada; M. Adachi; I. Yamada
Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology   2 1195-1198   1999年   [査読有り]
Fullerene ion (C60+) implantation in GaAs(100) substrate
Takashi Nishihara; Hiroshi Katsumata; Jiro Matsuo; Isao Yamada
Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology   2 1203-1206   1999年   [査読有り]
Boron diffusion in ultra low-energy (<1 keV/atom) decaborane (B10H14) ion implantation
Takuya Kusaba; Norihiro Shimada; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo; Isao Yamada; Kenichi Goto; Toshihiro Sugii
Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology   2 1258-1261   1999年   [査読有り]

書籍等出版物

 
"Improvement of Diamond X-Ray Mask Membrane : Optical Transmittance, Surface Roughness and Irradiation Durability"
松尾 二郎
Proceedings of Micro-and Nano-Engineering '95,/,1-5   1995年   
"Cluster Ion Beam Processing of Materials"
松尾 二郎
Ion Implantation Technology-IIT'94, (Elsevier Science B. V. ),/,1002-1005   1995年   
"Nanoscale Processing by Gas Cluster Ion Beams-Novel Technique in Ion Beam Processing-"
松尾 二郎
Proceedings of the 3rd International Conference on Intelligent Materials,   1996年   
"Cluster Ion Implantation for Shallow Junction Formation"
松尾 二郎
IEEE Proceedings of the 11th INT'L Conference on Ion Implantation Technology,1/,768-771   1996年   
"Novel Shallow Junction Technology Using Decaborane(B10H14)"
松尾 二郎
Proceedings of IEDM,   1996年   

Works

 
クラスターイオンビームプロセスの研究
2000年

競争的資金等の研究課題

 
高速粒子の表面衝突ダイナミクスの研究
クラスターイオンビームプロセスの研究