特許権 プラズマ発生装置、および、プラズマ発生方法 国立大学法人金沢大学 田中 康規, 倉石 克弥, 赤尾 美香, 吉田 豊信 出願番号 特願2014-522433 出願日 2013年6月26日 特許番号/登録番号 特許第5959025号 登録日 発行日 2016年7月1日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201603008289256484URLhttp://jglobal.jst.go.jp/public/201603008289256484 ID情報 J-Global ID : 201603008289256484