基本情報

所属
大阪大学 大学院工学研究科 物理学系専攻 精密工学コース ナノ表面界面工学領域 教授
学位
博士（工学）(2000年3月 大阪大学)
Doctor of Engineering(Osaka University)
J-GLOBAL ID
200901039915644009
researchmap会員ID
1000244912
外部リンク

研究キーワード

  3

研究分野

  3

経歴

  6

学歴

  3

委員歴

  13

受賞

  31
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主要な論文

  135
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主要なMISC

  94
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書籍等出版物

  9
  • 篠田 和典 他24名 (担当:分担執筆, 範囲:第7章「金属アシストエッチング」第1節「触媒アシストエッチングによる半導体表面のマイクロ・ナノ加工 ～発展の歴史と最新の報告例～」)
    （株）シーエムシー出版 2025年8月29日 (ISBN: 9784781318721)
  • 田中 浩 他25名 (担当:分担執筆, 範囲:第1章「加工技術の基礎と高度化」第4節「触媒アシストエッチングの基礎と高度化」)
    S&T出版（株） 2025年3月31日 (ISBN: 9784911146095)
  • 諏訪部 仁 他56名 (担当:分担執筆, 範囲:第6章「ウェットエッチング技術の開発動向」第3節「触媒アシストエッチングの反応機構と最新加工事例」)
    （株）技術情報協会 2023年9月29日 (ISBN: 9784861049828)
  • 羽深等, 清家善之, 白水好美, 有馬健太, カチョーンルンルアン パナート, 岩本花子, 前田主悦, 山崎克弘, 向井義雄, 長谷川浩史, 松井淳, 金洪杰 (担当:分担執筆, 範囲:第4章 「半導体デバイス製造プロセスを支える表面分析・評価技術」 第1節 「固液界面反応／現象により創成される半導体表面の極限評価技術」)
    サイエンス＆テクノロジー（株） 2022年11月29日 (ISBN: 9784864282949)
  • 礒部 晶, 服部 毅, 大山 聡, 式田 光宏, 河合 晃, 堀 勝, 中野 博彦, 浜口 智志, 豊田 紀章, 唐橋 一浩, 江利口 浩二, 寒川 誠二, 篠田 和典, 佐藤 威友, 有馬 健太 (担当:分担執筆, 範囲:第4章「新しいエッチング技術の研究開発動向」第4節「触媒アシストエッチング」)
    （株）R&D支援センター 2022年10月31日 (ISBN: 9784905507611)
  • 権田, 俊一, 酒井, 忠司, 田畑, 仁, 八瀬, 清志, 宮崎, 照宣 (担当:分担執筆, 範囲:第２編「薄膜の作製と加工」第１章「基板と表面処理」第２節「半導体基板（Si・Ge・SiC）」)
    （株）エヌ・ティー・エス 2020年2月14日 (ISBN: 9784860436315)
  • 大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点, 精密工学会超精密加工専門委員会 (担当:分担執筆, 範囲:半導体表面の不動態化構造制御)
    大阪大学出版会 2014年3月19日 (ISBN: 9784872594652)
  • 大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点, 精密工学会超精密加工専門委員会 (担当:分担執筆, 範囲:固液界面の電子移動と化学)
    大阪大学出版会 2014年3月19日 (ISBN: 9784872594652)
  • 日本表面科学会, 松井, 文彦 (担当:分担執筆, 範囲:問題4.14 洗浄と純水)
    共立出版（株） 2013年10月25日 (ISBN: 9784320033740)

担当経験のある科目(授業)

  16

所属学協会

  5

主要な共同研究・競争的資金等の研究課題

  53
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メディア報道

  1