特許権 プラズマ発生装置およびプラズマ発生方法 東北大学 西山秀哉, 佐藤岳彦, 片桐一成, 髙奈秀匡, 中嶋智樹, 仲野是克, 堤崎高司 出願番号 特願2007-218424 出願日 2007年8月24日 公開番号 特開2009-54359 公開日 2009年3月12日