産業財産権

特許権

プラズマ発生装置およびプラズマ発生方法

  • 西山秀哉
  • ,
  • 佐藤岳彦
  • ,
  • 片桐一成
  • ,
  • 髙奈秀匡
  • ,
  • 中嶋智樹
  • ,
  • 仲野是克
  • ,
  • 堤崎高司

出願番号
特願2007-218424
出願日
2007年8月24日
公開番号
特開2009-54359
公開日
2009年3月12日