特許権 プラズマ制御方法、及びプラズマ制御装置 西山秀哉, 佐藤岳彦, 片桐一成 出願番号 特願2003-345672 出願日 2003年10月3日 公開番号 特開2005-116217 公開日 2005年4月28日 特許番号/登録番号 3793816 登録日 発行日 2006年4月21日
