特許権 LASER PROCESSING METHOD Uno Yoshiyuki, Okamoto Yasuhiro, Takahashi Kenta, Kakui Motoki, Kohda Hiroshi, Kaneuchi Yasuomi, Tamaoki Shinobu and Nagano Shigehiro 特許番号/登録番号 特許US 8,933,367 B2 登録日 2015年1月13日 発行日 US 8,933,367 B2