2007 Nd:YAG第三高調波レーザによる単結晶サファイアの微細溝加工 2007年度精密工学会秋季大会学術講演会 片岡範生,宇野義幸,*岡本康寛,丸山洋平,向矢 豊 Event date Sep 13, 2007 - Sep 13, 2007 Language Presentation type Other Venue 旭川市