2008 Nd:YAGレーザの高調波を用いたセラミックスの微細加工におけるプラズマ挙動の観察 2008年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 林 宜宏,宇野 義幸,*岡本 康寛,酒川 友一 Event date Sep 18, 2008 - Sep 18, 2008 Language Presentation type Oral presentation (general) Venue 仙台市