Presentations

2010

YAG高調波による単結晶シリコンの微細加工特性とその現象の検討

日本機械学会第8回生産加工・工作機械部門講演会
  • 平野 孝幸,岡本 康寛,宇野 義幸,酒川 友一,中芝 伸一

Event date
Nov 19, 2010 - Nov 20, 2010
Language
Japanese
Presentation type
Oral presentation (general)
Organizer
日本機械学会
Venue
岡山大学