2010 YAG高調波による単結晶シリコンの微細加工特性とその現象の検討 日本機械学会第8回生産加工・工作機械部門講演会 平野 孝幸,岡本 康寛,宇野 義幸,酒川 友一,中芝 伸一 Event date Nov 19, 2010 - Nov 20, 2010 Language Japanese Presentation type Oral presentation (general) Organizer 日本機械学会 Venue 岡山大学