2011 冷却ガスを用いた半導体パッケージの高品位レーザダイシング 2011年度精密工学会岡山地方学術講演会 山本 響,岡本康寛,岡田 晃,北田良二,池田卓也 Event date Oct 8, 2011 - Oct 9, 2011 Language Japanese Presentation type Oral presentation (general) Organizer 精密工学会中国四国支部 Venue 岡山大学