講演・口頭発表等

2019年9月20日

Al (CH ₃ )₃ 凝縮層の 低速電子および 酸素 ラジカル 照射 による Al ₂ O ₃薄膜の低温形成

第80回応用物理学会秋季学術講演会
  • 大川 敦輝
  • ,
  • 山田 大地
  • ,
  • 王 谷 洋平
  • ,
  • 佐藤 哲也

記述言語
日本語
会議種別
ポスター発表
主催者
応用物理学会
開催地
北海道大学