講演・口頭発表等

2019年3月11日

c-C4F8/SiF4混合凝縮層の電子励起によるa-C:Fの低温合成と物性評価

第66回応用物理学会春季学術講演会
  • 三谷 隼弘
  • ,
  • 佐藤 哲也
  • ,
  • 塩澤 佑一朗
  • ,
  • 上垣 良信

記述言語
日本語
会議種別
ポスター発表
主催者
応用物理学会
開催地
東京工業大学・大岡山キャンパス