論文

査読有り
2016年1月11日

Selective Heating of Transition Metal Usings Hydrogen Plasma and Its Application to Formation of Nickel Silicide Electrodes for Silicon Ultralarge-Scale Integration Devices

Journal of Materials Science and Chemical Engineering
  • Tetsuji Arai

4
開始ページ
29
終了ページ
33
記述言語
英語
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
DOI
10.4236/msce.2016.41006

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.4236/msce.2016.41006
ID情報
  • DOI : 10.4236/msce.2016.41006

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