2016年1月11日
Selective Heating of Transition Metal Usings Hydrogen Plasma and Its Application to Formation of Nickel Silicide Electrodes for Silicon Ultralarge-Scale Integration Devices
Journal of Materials Science and Chemical Engineering
- 巻
- 4
- 号
- 開始ページ
- 29
- 終了ページ
- 33
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文(学術雑誌)
- DOI
- 10.4236/msce.2016.41006
- ID情報
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- DOI : 10.4236/msce.2016.41006