石川靖彦 (Yasuhiko Ishikawa) - マイポータル

基本情報

所属: 豊橋技術科学大学電気・電子情報工学系教授

学位: 博士(工学)(北海道大学)

J-GLOBAL ID: 200901092349858720
researchmap会員ID: 1000251668

外部リンク: http://www.int.ee.tut.ac.jp/photon/

研究キーワード

研究分野

学歴

- 1998年

北海道大学

委員歴

2019年6月 - 現在

電子情報通信学会光集積及びシリコンフォトニクス特別研究専門委員会委員
2017年10月 - 現在

日本学術振興会産学協力研究委員会結晶加工と評価技術第145委員会学界委員
2012年 - 現在

電子材料シンポジウムプログラム委員
2021年4月 - 2023年3月

応用物理学会東海支部支部長補佐
- 2022年10月

242nd ECS Meeting, Symposium on SiGe, Ge and related compounds, Optoelectronics Committee, Program Committee Member
- 2020年10月

238th ECS Meeting, Symposium on SiGe, Ge and related compounds, Optoelectronics Committee, Program Committee Member
2017年6月 - 2019年5月

電子情報通信学会シリコンフォトニクス特別研究専門委員会委員
- 2018年10月

Americas International Meeting on Electrochemistry and Solid Science (AiMES) 2018, 8th International SiGe, Ge, and Related Compounds: Materials, Processing, and Devices Symposium, Optoelectronics Committee, Program Committee Member
2015年6月 - 2017年5月

電子情報通信学会シリコンフォトニクス時限研究専門委員会委員
- 2016年10月

230th ECS Meeting, Symposium on SiGe, Ge and related compounds, Optoelectronics Committee, Program Committee Member
- 2016年4月

Materials Research Society (MRS) 2016 Spring Meeting, Symposium EP7 “Material and Device Frontiers for Integrated Photonics”, Symposium Organizer (Lead Organizer)
- 2015年9月

The 47th International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2015), Steering Committee Member
- 2015年9月

The 47th International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2015), Program Committee Member (Area 7: Photonic Devices and Related Technologies, Chair)
- 2014年10月

226th ECS Meeting, Symposium on SiGe, Ge and related compounds, Optoelectronics Committee, Program Committee Member
- 2014年10月

The Forum on the Science and Technology of Silicon Materials 2014 (シリコン材料の科学と技術フォーラム2014:第7回シリコンフォーラム), Program Committee Member
- 2014年9月

The 46th International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2014), Program Committee Member (Area 7: Photonic Devices and Related Technologies, Chair)
- 2014年

Science and Technology of Advanced Materials, Focus on Silicon Photonics, vol. 15, no. 1/2, 2014, Guest Editor
- 2013年8月

IEEE 10th International Conference on Group IV Photonics (GFP2013), Program Committee Member (Electro-Photonic Convergence on Silicon)
- 2013年7月

The 10th Conference on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim, and The 18th OptoElectronics and Communications Conference / Photonic in Switching 2013 (CLEO-PR & OECC/PS 2013), Technical Program Committee Member (J3: Silicon Photonics Platform)
- 2012年8月

IEEE 9th International Conference on Group IV Photonics (GFP2012), Program Committee Member (Advanced Material and Fabrication Technologies)

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論文

190

Chiral germanium micro-gears for tuning orbital angular momentum.

Abdelrahman Zaher Al-Attili, Daniel Burt, Zuo Li, Naoki Higashitarumizu, Frederic Gardes, Yasuhiko Ishikawa, Shinichi Saito

Scientific reports 12(1) 7465-7465 2022年5月6日査読有り
Low-Loss Hydrogen-Free SiNx Optical Waveguide Deposited by Reactive Sputtering on a Bulk Si Platform

Rui Tsuchiya, Ryota Oyamada, Takaaki Fukushima, Jose A. Piedra-Lorenzana, Takeshi Hizawa, Tetsuya Nakai, Yasuhiko Ishikawa

IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 28(3) 1-9 2022年5月査読有り最終著者責任著者
(Invited) Selective Epitaxy of Submicron Ge Wire Structures for Photodetectors and Optical Modulators in Si Photonics

Yasuhiko Ishikawa, Kyosuke Noguchi, Mayu Tachibana, Kazuki Kawashita, Ryota Oyamada, Kazuki Motomura, Shuhei Sonoi, Riku Katamawari, Takeshi Hizawa

ECS Transactions 104(4) 147-155 2021年10月1日査読有り招待有り筆頭著者責任著者
Si-capping-induced surface roughening on the strip structures of Ge selectively grown on an Si substrate

Riku Katamawari, Kazuki Kawashita, Takeshi Hizawa, Yasuhiko Ishikawa

Journal of Vacuum Science & Technology B 39(4) 042204-042204 2021年7月査読有り最終著者責任著者
High-speed Ge/Si electro-absorption optical modulator in C-band operation wavelengths

Junichi Fujikata, Masataka Noguchi, Kazuki Kawashita, Riku Katamawari, Shigeki Takahashi, Michiharu Nishimura, Hideki Ono, Daisuke Shimura, Hiroyuki Takahashi, Hiroki Yaegashi, Takahiro Nakamura, Yasuhiko Ishikawa

Optics Express 28(22) 33123-33134 2020年10月26日査読有り
Enhancement of L-band optical absorption in strained epitaxial Ge on Si-on-quartz wafer: Toward extended Ge photodetectors

Kyosuke Noguchi, Michiharu Nishimura, Yoshiyuki Tsusaka, Junji Matsui, Yasuhiko Ishikawa

Journal of Applied Physics 128(13) 2020年10月7日査読有り
Simulation and evaluation of plasmonic circuits

Mitsuo Fukuda, Yasuhiko Ishikawa

International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices, SISPAD 2020-September 265-267 2020年9月23日査読有り
Theoretical calculation and experimental verification for dislocation reduction in germanium epitaxial layers with semicylindrical voids on silicon

Motoki Yako, Yasuhiko Ishikawa, Eiji Abe, Kazumi Wada

Journal of Visualized Experiments 2020(161) 1-29 2020年7月査読有り
Feasibility of Plasmonic Circuits Merged with Silicon Integrated Circuits

Mitsuo Fukuda, Yuta Tonooka, Yasuhiko Ishikawa

2020 Pan Pacific Microelectronics Symposium, Pan Pacific 2020 2020年2月査読有り
Strain-enhanced Ge epitaxial layer on Si-on-quartz wafer for near-infrared photonic devices

Asahi Degawa, Moïse Sotto, Yasuhiko Ishikawa

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 11556 1155603 2020年査読有り
Feasibility of Plasmonic Circuits in Nanophotonics

Mitsuo Fukuda, Shinya Okahisa, Yuta Tonooka, Masashi Ota, Takuma Aihara, Yasuhiko Ishikawa

IEEE Access 8 142495-142506 2020年査読有り
High-speed and 16 ?-WDM operation of Ge/Si electro-absorption modulator for C-band spectral regime

Junichi Fujikata, Masataka Noguchi, Seok Hwan Jeong, Yosuke Onawa, Daisuke Shimura, Kazuki Kawashita, Riku Katamawari, Hideaki Okayama, Shigeki Takahashi, Hideki Ono, Hiroyuki Takahashi, Hiroki Yaegashi, Yasuhiko Ishikawa, Takahiro Nakamura

Optics InfoBase Conference Papers Part F174-OFC 2020 1-3 2020年査読有り
Enhanced L-Band Optical Absorption in Ge Grown on Si-on-Quartz Substrate

Yasuhiko Ishikawa, Junji Matsui, Michiharu Nishimura, Kyosuke Noguchi, Yoshiyuki Tsusaka

IEEE International Conference on Group IV Photonics GFP 2019-August 2019年8月査読有り最終著者責任著者
Ge Epitaxial Layers on Si for Group-IV Integrated Photonics

Yasuhiko Ishikawa

OECC/PSC 2019 - 24th OptoElectronics and Communications Conference/International Conference Photonics in Switching and Computing 2019 1-3 2019年7月査読有り招待有り
High concentration phosphorus doping in Ge for CMOS-integrated laser applications

Chan Hyuck Park, Motoki Yako, Kazumi Wada, Yasuhiko Ishikawa, Donghwan Ahn

Solid-State Electronics 154 43-49 2019年4月査読有り
Si-Ge intermixing induced at mesa sidewalls of Si-capped Ge epitaxial layers on Si for operation wavelength tuning in Ge photonic devices

Yasuhiko Ishikawa, Kazuki Kawashita, Riku Katamawari, Kazuki Ito, Moïse Sotto

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 11193 1119309 2019年査読有り筆頭著者
Impact of interface recombination on direct-gap photoluminescence from Ge epitaxial layers on Si

Motoki Yako, Naoki Higashitarumizu, Yasuhiko Ishikawa

Japanese Journal of Applied Physics 58(SB) SBBE08 2019年査読有り
Germanium vertically light-emitting micro-gears generating orbital angular momentum

Abdelrahman Z. Al-Attili, Daniel Burt, Zuo Li, Naoki Higashitarumizu, Frederic Y. Gardes, Katsuya Oda, Yasuhiko Ishikawa, Shinichi Saito

Optics Express 26(26) 34675-34688 2018年12月24日査読有り
Defects and their reduction in ge selective epitaxy and coalescence layer on Si with Semicylindrical Voids on SiO<inf>2</inf> Masks

Motoki Yako, Yasuhiko Ishikawa, Eiji Abe, Kazumi Wada

IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 24(6) 2018年11月査読有り
Defects and Their Reduction in Ge Selective Epitaxy and Coalescence Layer on Si With Semicylindrical Voids on SiO2 Masks

Motoki Yako, Yasuhiko Ishikawa, Eiji Abe, Kazumi Wada

IEEE JOURNAL OF SELECTED TOPICS IN QUANTUM ELECTRONICS 24(6) 8201007 2018年11月査読有り

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MISC

245

SOI細線アレイ上への低転位Ge層のエピタキシャル成長

Mohd Faiz Bin Amin, 本村一輝, 飛沢健, Jose A. Piedra-Lorenzana, 中井哲弥, 石川靖彦

第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年9月最終著者責任著者
引張ひずみを増強したSi上Ge層を用いた近赤外pin受光器

葛谷樹矢, 園井柊平, 石川靖彦

第82回応用物理学会秋季学術講演会 82nd 2021年9月最終著者責任著者
Si上Geエピタキシャル層の高速トレンチ埋め込み成長

本村一輝, 加藤滉大, Jose A. Piedra-Lorenzana、Mohd Faiz Bin Amin, 飛沢健, 中井哲弥, 石川靖彦

第82回応用物理学会秋季学術講演会 82nd 2021年5月最終著者責任著者
SOI上Ge細線構造を用いた横方向pinダイオードの受光スペクトル

稲葉喬亮, 藤方潤一, 野口将高, 片廻陸, 石川靖彦

第82回応用物理学会秋季学術講演会 82nd 2021年5月最終著者責任著者
サブミクロン細線構造を用いたSi上Geエピタキシャル層のバンドギャップ制御

下川愛実, 園井柊平, 片廻陸, 石川靖彦

電子情報通信学会技術研究報告(Web) 121(44(ED2021 1-10)) 2021年5月最終著者責任著者
Si上ひずみGe層の直接遷移バンドギャップの温度依存性

劒持進次郎, 藤方潤一, 石川靖彦

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 68th 2021年
バルクシリコン基板上SiN_x光導波路の検討(2)

土谷塁, 小山田亮太, 石川靖彦

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 68th 2021年
Si上に選択成長したGeメサ側壁におけるSi保護膜との混晶化(2)

片廻陸, 川下和樹, 石川靖彦

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 67th 2020年
トレンチ埋め込み成長を用いたSi上Ge受光器の作製と評価

本村一輝, 園井柊平, 橘茉優, SOTTO Moise, 石川靖彦

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 67th 2020年
Ge/Siリブ導波路構造を用いた電界吸収型光変調器の検討(IV)

藤方潤一, 野口将高, JEONG Seok-Hwan, 大繩陽介, 大繩陽介, 志村大輔, 志村大輔, 川下和樹, 片廻陸, 小野英輝, 小野英輝, 岡山英彰, 岡山英彰, 高橋博之, 高橋博之, 八重樫浩樹, 石川靖彦, 中村隆宏

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 67th 2020年
SiN_x応力膜を用いたSi上Ge細線構造のバンドギャップ制御

園井柊平, 川下和樹, 片廻陸, 石川靖彦

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 67th 2020年
Ge/Siリブ導波路構造を用いた電界吸収型光変調器の高温動作に関する検討

藤方潤一, 野口将高, JEONG Seok-Hwan, 太繩陽介, 太繩陽介, 志村大輔, 志村大輔, 川下和樹, 片廻陸, 小野英輝, 小野英輝, 岡山英彰, 岡山英彰, 高橋博之, 高橋博之, 八重樫浩樹, 石川靖彦, 中村隆宏

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 81st 597-597 2020年
Si上Ge層を用いた近赤外pin受光器の暗電流特性 (電子デバイス)

橘茉優, 園井柊平, 石川靖彦

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 119(34) 5-8 2019年5月16日
Si上Ge層を用いた近赤外pin受光器の暗電流特性

橘茉優, 園井柊平, 石川靖彦

電子情報通信学会技術研究報告 119(34(ED2019 10-26)) 5-8 2019年
SOQ及びSOS基板上に形成したGe層の光吸収特性

野口恭甫, 西村道治, 松井純爾, 津坂佳幸, 石川靖彦

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 66th ROMBUNNO.11a‐W331‐7 2019年
チップ上光源に向けたSi上inverted-rib Ge層の発光特性評価

八子基樹, PARK Chan-Hyuck, AHN Donghwan, 和田一実, 石川靖彦

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 66th ROMBUNNO.11a‐W331‐6 2019年
貼り合わせSi-on-Quartz基板上にエピタキシャル成長したGe層における格子ひずみと光学物性の評価

野口恭甫, 西村道治, 松井純爾, 津坂佳幸, 石川靖彦

電子情報通信学会技術研究報告 119(34(ED2019 10-26)) 21-24 2019年
SiN_x層上へのGeの選択化学気相堆積

上野湧希, 小山田亮太, 佐々木駿, 中井哲弥, 石川靖彦

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th ROMBUNNO.19p‐E206‐15 2019年
Si上に選択成長したGeメサ側壁におけるSi保護膜との混晶化

川下和樹, 片廻陸, SOTTO Moiese, 石川靖彦

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th ROMBUNNO.19p‐E206‐14 2019年
Ge/Siリブ導波路構造を用いた電界吸収型光変調器の検討 III

藤方潤一, 野口将高, 川下和樹, 片廻陸, 小野英輝, 志村大輔, 高橋博之, 八重樫浩樹, 石川靖彦, 中村隆宏

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th ROMBUNNO.19p‐E206‐7 2019年

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書籍等出版物

Photonics and Electronics with Germanium

Kazumi Wada, Kohei Yoshimoto, Yu Horie, Jingnan Cai, Peng Huei Lim, Hiroshi Fukuda, Ryota Suzuki, Yasuhiko Ishikawa (担当:共著, 範囲:10 Strained Ge for Si-Based Integrated Photonics)

Wiley-VCH, Weinheim 2015年5月
Silicon Photonics II (Topics in Applied Physics)

R. Ichikawa, S. Takita, Y. Ishikawa, K. Wada (担当:共著, 範囲:Chap. 5, Germanium as a material to enable silicon photonics)

Springer Verlag 2010年10月
Optical Interconnects - The Silicon Approach

K. Wada, J. F. Liu, S. Jongthammanurak, D. D. Cannon, D. T. Danielson, D. H. Ahn, S. Akiyama, M. Popovic, D. R. Lim, K. K. Lee, H. -C. Luan, Y. Ishikawa, J. Michel, H. A. Haus, L. C. Kimerling (担当:共著, 範囲:Chap. 11, Si Microphotonics for Optical Interconnection)

Springer Verlag 2006年
Silicon Nanoelectronics,

Michiharu Tabe, Hiroya Ikeda, Yasuhiko Ishikawa (担当:共著, 範囲:6 Resonant Tunneling in Si Nanodevices)

Tayler & Francis 2005年6月

講演・口頭発表等

351

Si-on-quartzウエハ上ひずみGe層の近赤外吸収特性

葛谷樹矢, 飛沢健, 石川靖彦

第69回応用物理学会春季学術講演会 2022年3月25日
トレンチ埋め込みSi上Ge層における格子ひずみの影響

加藤滉大, Mohd Faiz Bin Amin, Jose A. Piedra-Lorenzana, 飛沢健, 中井哲弥, 石川靖彦

第69回応用物理学会春季学術講演会 2022年3月25日
Siパターン基板上へのGeエピタキシャル層のCVD成長

Mohd Faiz Bin Amin, Jose A. Piedra-Lorenzana, 飛沢健, 中井哲弥, 石川靖彦

第69回応用物理学会春季学術講演会 2022年3月25日
引張ひずみを増強したSi上Ge層を用いた近赤外pinフォトダイオード

葛谷樹矢, 園井柊平, 石川靖彦

Photonic Device Workshop 2021 (PDW2021) 2021年11月5日
Si-on-Insulator上Ge細線構造を用いた横方向pinダイオードの受光スペクトル

稲葉喬亮, 藤方潤一, 野口将高, 片廻陸, 石川靖彦

Photonic Device Workshop 2021 (PDW2021) 2021年11月5日
Si上ひずみGeエピタキシャル層における直接遷移バンドギャップの温度依存性

劒持進次郞, 藤方潤一, 石川靖彦

Photonic Device Workshop 2021 (PDW2021) 2021年11月5日
Selective Epitaxy of Submicron Ge Wire Structures for Photodetectors and Optical Modulators in Si Photonics

Yasuhiko Ishikawa, Kyosuke Noguchi, Mayu Tachibana, Kazuki Kawashita, Ryota Oyamada, Kazumi Motomura, Shuhei Sonoi, Riku Katamawari, Takeshi Hizawa

240th ECS Meeting, G02 Semiconductor Process Integration 12 2021年10月14日招待有り
Effect of SiO2 Under-cladding Thickness in SiNx Optical Waveguides in Si

Takaaki Fukushima, Rui Tsuchiya, Ryota Oyamada, Takeshi Hizawa, Jose A. Piedra-Lorenzana, Tetsuya Nakai, Yasuhiko Ishikawa

40th Electronic Materials Symposium 2021年10月11日
引張ひずみを増強したSi上Ge層を用いた近赤外pin受光器

葛谷樹矢, 園井柊平, 石川靖彦

第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年9月11日
SOI上Ge細線構造を用いた横方向pinダイオードの受光スペクトル

稲葉喬亮, 藤方潤一, 野口将高, 片廻陸, 石川靖彦

第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年9月11日
SOI細線アレイ上への低転位Ge層のエピタキシャル成長

Mohd Faiz Bin Amin, 本村一輝, 飛沢健, Jose A. Piedra-Lorenzana, 中井哲弥, 石川靖彦

第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年9月10日
Si上Geエピタキシャル層の高速トレンチ埋め込み成長

本村一輝, 加藤滉大, Jose A. Piedra-Lorenzana、Mohd Faiz Bin Amin, 飛沢健, 中井哲弥, 石川靖彦

第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年9月10日
サブミクロン細線構造を用いたSi上Geエピタキシャル層のバンドギャップ制御

下川愛実, 園井柊平, 片廻陸, 石川靖彦

電子情報通信学会電子デバイス研究会（ED）／シリコンデバイス・材料研究会（SDM）／電子部品・材料研究会（CPM）合同研究会 2021年5月27日
Si上ひずみGe層の直接遷移バンドギャップの温度依存性

劒持進次郞, 藤方潤一, 石川靖彦

第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月17日
バルクシリコン基板上SiNx光導波路の検討(2)

土谷塁, 小山田亮太, 石川靖彦

第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月16日
Si Optical Modulator with Strained SiGe Layer and Ge/Si Electro-Absorption Optical Modulator for 56 Gbaud Optical Transceiver

Junichi Fujikata, Masataka Noguchi, Jaehoon Han, Naoki Sekine, Kazuki Kawashita, Riku Katamawari, Hideki Ono, Shigeki Takahashi, Seok-Hwan Jeong, Takanori Shimizu, Yasuhiko Ishikawa, Mitsuru Takenaka, Takahiro Nakamura

10th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2020) 2020年12月1日
Design improvement of monolithic Ge on Si laser for the reduction of threshold current

Mingjun Jiang, Sehyung Kim, Hayeon Oh, Yasuhiko Ishikawa, Kazumi Wada, Donghwan Ahn

6th International conference on Electronic Materials and Nanotechnology for Green Environment (ENGE2020) 2020年11月3日
Strain-enhanced Ge epitaxial layer on Si-on-quartz wafer for near-infrared photonic devices

Yasuhiko Ishikawa, Asahi Degawa, Moïse Sotto

SPIE/COS (Chinese Optical Society) Photonics Asia 2020年10月11日
High-Speed Ge/Si Electro-Absorption Modulator with C-band Wavelengths Operation at High Temperature up to 85°C

Junichi Fujikata, Masataka Noguchi, Kazuki Kawashita, Riku Katamawari, Hideki Ono, Daisuke Shimura, Yosuke Onawa, Hiroyuki Takahashi, Hiroki Yaegashi, Yasuhiko Ishikawa, Takahiro Nakamura

2020 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2020) 2020年9月30日招待有り
Simulation and Evaluation of Plasmonic Circuits

Mitsuo Fukuda, Yasuhiko Ishikawa

2020 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD2020) 2020年9月24日

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所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

Si上に選択エピタキシャル成長したGe層に対するウエハ面内バンドエンジニアリング

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2021年4月 - 2024年3月

石川靖彦
表面プラズモン論理演算回路構成技術の創出

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2018年4月 - 2021年3月

福田光男, 石川靖彦
光信号の低コスト受信モニタリングのための小型光位相同期回路の研究開発

情報通信研究機構情報通信研究機構委託研究 2015年4月 - 2020年3月

太田裕之
バルクシリコンを用いたシリコン・ゲルマニウムフォトニクスプラットフォームの形成

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2016年4月 - 2019年3月

石川靖彦
極薄シリコン層上への低欠陥ゲルマニウムのエピタキシャル成長

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究 2013年4月 - 2016年3月

石川靖彦
格子ひずみ制御によるシリコン上ゲルマニウム受発光デバイスの長波長動作

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2012年4月 - 2015年3月

石川靖彦
格子歪みを誘起したシリコン基板上への無転位ゲルマニウム層の形成

日本学術振興会科学研究費補助金挑戦的萌芽研究 2011年4月 - 2013年3月

石川靖彦
シリコン上ゲルマニウムエピタキシャル層を用いた1.5ミクロン帯発光素子の開拓

日本学術振興会科学研究費補助金基盤研究(B) 2009年4月 - 2012年3月

石川靖彦
格子歪みを誘起したシリコン基板上への無転位ゲルマニウム層の形成

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究 2011年 - 2012年

石川靖彦
シリコン上ゲルマニウムエピタキシャル層を用いた1. 5ミクロン帯発光素子の開拓

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2009年 - 2011年

石川靖彦, 志村考功, 和田一実, 近藤高志
シリコンフォトニクスの嗅覚センサチップへの展開

日本学術振興会科学研究費補助金萌芽研究 2007年4月 - 2010年3月

石川靖彦
ErドープSi量子井戸発光デバイスの開拓

日本学術振興会科学研究費補助金基盤研究(B) 2007年4月 - 2009年3月

石川靖彦
シリコンフォトニクスの嗅覚センサチップへの展開

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究 2007年 - 2009年

石川靖彦, 和田一実
ErドープSi量子井戸発光デバイスの開拓

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2007年 - 2008年

石川靖彦, 和田一実, 上浦洋一, 和田一実, 上浦洋一
一次元トンネル接合列をもつSi単電子トランジスタの形成と電子輸送の制御

日本学術振興会科学研究費補助金基盤研究(B) 2004年4月 - 2007年3月

石川靖彦
シリコン単電子デバイスの時空間輸送制御と新機能の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(S) 2004年 - 2007年

田部道晴, 池田浩也, 小野行徳, 雨宮好仁, 石川靖彦, ラトノヌルヤディ
一次元トンネル接合列をもつSi単電子トランジスタの形成と電子輸送の制御

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2004年 - 2006年

石川靖彦, 田部道晴, 池田浩也
シリコン単電子デバイスによる単一イオンの動き検出

日本学術振興会科学研究費助成事業萌芽研究 2004年 - 2006年

田部道晴, 池田浩也, 前田正彦, 石川靖彦
ナノドットオートマトン用シリコン連結ドット構造における単電子トンネル特性制御

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2003年 - 2005年

池田浩也, 田部道晴, 石川靖彦
SOI層の熱凝集現象を利用したSiアイランドの選択形成と光学素子応用

日本学術振興会科学研究費補助金基盤研究(C) 2001年4月 - 2004年3月

石川靖彦

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産業財産権

特許第6699055号アバランシェ受光器

石川靖彦, 和田一実, 宮坂祐司
特開2018-041957 光電変換デバイスおよび光電変換デバイスの動作波長の制御方法

石川靖彦, 西村道治
特許第6284195号受光素子

武田浩太郎, 山田浩治, 福田浩, 和田一実, 石川靖彦
特許6437284 アバランシェ受光器

土澤泰, 開達郎, 岡崎功太, 石川靖彦, 和田一実
特許6362142 ゲルマニウム受光器

武田浩太郎, 土澤泰, 岡崎功太, 開達郎, 和田一実, 石川靖彦
特許第6041390号光共振器構造

上野祐子, 堀内勉, 岩崎弦, 林勝義, 為近恵美, 石川靖彦, 和田一実, ツァイジンナン, 荒木貴裕, 平井格郎
特許6347486 光能動素子

武田浩太郎, 福田浩, 和田一実, 石川靖彦
特開2016-061815 光共振器構造

樋口雄一, 岩崎弦, 阪田知巳, 上野祐子, 石川靖彦, 平井格郎, 荒木貴裕, 和田一実
特許第5907561号フォトニック結晶光共振器

林勝義, 堀内勉, 岩崎弦, 瀬山倫子, 井上鈴代, 為近恵美, 石川靖彦, 和田一実, ツァイジンナン
特許第5871240号光素子

福田浩, 山田浩治, 石川靖彦, 和田一実
特許第5858476号光素子

福田浩, 山田浩治, 石川靖彦, 和田一実
特開2015-153899 受光素子の制御方法

武田浩太郎, 山田浩治, 福田浩, 和田一実, 石川靖彦
特許第5761754号光モジュールおよびその製造方法

土澤泰, 山田浩治, 渡辺俊文, 板橋聖一, 石川靖彦, 和田一実
特開2014-194962 照射制御方法及び照射制御装置

星野聡彦, 井澤友策, 石川靖彦, 福田浩太郎
特許第5586103号光素子

和田一実, 石川靖彦, 吉本幸平, 堀江優, 鈴木亮太, 蔡靖楠, 平勢理士
特開2014-116524 垂直光放出素子

和田一実, 石川靖彦, 寿寛, 河合直行
特許第5522503号光半導体素子、光電変換素子及び光変調素子

和田一実, 石川靖彦, パクソンボン
特許第5462024号半導体装置の製造方法

山田浩治, 土澤泰, 渡辺俊文, パクソンボン, 板橋聖一, 石川靖彦
特許第5370857号ゲルマニウム受光器およびその製造方法

土澤泰, 渡辺俊文, 山田浩治, 板橋聖一, 石川靖彦, 和田一実
特開2013-061506 半導体光変調器およびその製造方法

福田浩, 板橋聖一, 安田学, 吉田篤徳, 石川靖彦, 和田一実

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社会貢献活動

静岡大学大学院総合科学技術研究科工学専攻

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2022年4月8日 - 2022年9月30日
第24回リフレッシュ理科教室

講師, 助言・指導, 運営参加・支援

公益社団法人応用物理学会東海支部 2021年10月16日 - 2021年10月16日
静岡大学大学院総合科学技術研究科工学専攻

講師

2021年4月8日 - 2021年9月30日
静岡大学大学院総合科学技術研究科工学専攻

講師

2020年6月1日 - 2020年9月30日
愛知県立蒲郡東高等学校模擬授業

講師

2019年11月6日 - 2019年11月6日
集積回路技術講習会

講師

豊橋技術科学大学 2019年7月22日 - 2019年7月26日
豊田工業高等専門学校特別講演会

講師

豊田工業高等専門学校 2019年5月30日 - 2019年5月30日
高専体験実習

講師, 実演

豊橋技術科学大学 2018年9月10日 - 2018年9月14日
集積回路技術講習会

講師

豊橋技術科学大学 2018年7月23日 - 2018年7月27日
集積回路技術講習会

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豊橋技術科学大学 2017年7月24日 - 2017年7月28日

石川靖彦

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