石川靖彦 (Yasuhiko Ishikawa) - マイポータル

基本情報

所属: 豊橋技術科学大学電気・電子情報工学系教授

学位: 博士(工学)(北海道大学)

J-GLOBAL ID: 200901092349858720
researchmap会員ID: 1000251668

外部リンク: http://www.int.ee.tut.ac.jp/photon/

研究キーワード

研究分野

経歴

2017年4月 - 現在

豊橋技術科学大学, 電気・電子情報工学系, 教授
2010年4月 - 2017年3月

東京大学, 大学院工学系研究科マテリアル工学専攻, 准教授
2006年10月 - 2010年4月

東京大学, 大学院工学系研究科マテリアル工学専攻, 講師
2006年2月 - 2006年9月

東京大学, 大学院工学系研究科マテリアル工学専攻, 助手
1998年4月 - 2006年1月

静岡大学, 電子工学研究所, 助手
2001年9月 - 2002年8月

マサチューセッツ工科大学, 材料プロセスセンター, 客員研究員
1996年4月 - 1998年3月

日本学術振興会特別研究員 (DC2)

学歴

1995年4月 - 1998年3月

北海道大学, 大学院工学研究科博士後期課程, 電子情報工学専攻
1993年4月 - 1995年3月

北海道大学, 大学院工学研究科修士課程, 電気工学専攻
1989年4月 - 1993年3月

北海道大学, 工学部, 電気工学科

委員歴

2023年4月 - 現在

半導体の結晶成長と加工および評価に関する応物産学連携委員会, 委員
2019年6月 - 現在

電子情報通信学会光集積及びシリコンフォトニクス特別研究専門委員会, 委員
2012年 - 現在

電子材料シンポジウムプログラム委員
2023年4月 - 2027年3月

応用物理学会東海支部, 幹事
2026年1月 - 2026年10月

250th ECS Meeting, 12th International SiGe, Ge, and Related Compounds: Materials, Processing, and Devices Symposium, Optoelectronics Committee, Program Committee Member
2024年1月 - 2024年10月

246th ECS Meeting, 11th International SiGe, Ge, and Related Compounds: Materials, Processing, and Devices Symposium, Optoelectronics Committee, Program Committee Member
2021年4月 - 2023年3月

応用物理学会東海支部, 支部長補佐
2017年10月 - 2023年3月

日本学術振興会産学協力研究委員会結晶加工と評価技術第145委員会学界委員
- 2022年10月

242nd ECS Meeting, Symposium on SiGe, Ge and related compounds, Optoelectronics Committee, Program Committee Member
- 2020年10月

238th ECS Meeting, Symposium on SiGe, Ge and related compounds, Optoelectronics Committee, Program Committee Member
2017年6月 - 2019年5月

電子情報通信学会シリコンフォトニクス特別研究専門委員会委員
- 2018年10月

Americas International Meeting on Electrochemistry and Solid Science (AiMES) 2018, 8th International SiGe, Ge, and Related Compounds: Materials, Processing, and Devices Symposium, Optoelectronics Committee, Program Committee Member
2015年6月 - 2017年5月

電子情報通信学会シリコンフォトニクス時限研究専門委員会委員
- 2016年10月

230th ECS Meeting, Symposium on SiGe, Ge and related compounds, Optoelectronics Committee, Program Committee Member
- 2016年4月

Materials Research Society (MRS) 2016 Spring Meeting, Symposium EP7 “Material and Device Frontiers for Integrated Photonics”, Symposium Organizer (Lead Organizer)
- 2015年9月

The 47th International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2015), Steering Committee Member
- 2015年9月

The 47th International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2015), Program Committee Member (Area 7: Photonic Devices and Related Technologies, Chair)
- 2014年10月

226th ECS Meeting, Symposium on SiGe, Ge and related compounds, Optoelectronics Committee, Program Committee Member
- 2014年10月

The Forum on the Science and Technology of Silicon Materials 2014 (シリコン材料の科学と技術フォーラム2014:第7回シリコンフォーラム), Program Committee Member
- 2014年9月

The 46th International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2014), Program Committee Member (Area 7: Photonic Devices and Related Technologies, Chair)

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論文

209

Trench-filling germanium epitaxial layers on silicon for surface-illuminated near-infrared photodetectors

So Nozaki, Takumi Maeda, Jose A. Piedra-Lorenzana, Daisuke Akai, Takeshi Hizawa, Tetsuya Nakai, Yasuhiko Ishikawa

Materials Science in Semiconductor Processing 213 110854-110854 2026年10月査読有り最終著者責任著者
Effect of Si capping on lattice strain in Ge strip structures epitaxially grown on Si by chemical vapor deposition

Soki Matsushita, Taichi Miyasaka, Joshua Chombo, Jose A. Piedra-Lorenzana, Takeshi Hizawa, Keisuke Yamane, Donghwan Ahn, Kazumi Wada, Yasuhiko Ishikawa

Materials Science in Semiconductor Processing 212 110784-110784 2026年9月査読有り最終著者責任著者
Extended-wavelength germanium pin photodetector fabricated on a bonded silicon-on-quartz wafer

Mikiya Kuzutani, Satoki Furuya, Koji Abe, Jose A. Piedra-Lorenzana, Takeshi Hizawa, Yasuhiko Ishikawa

Optics Express 33(23) 47642-47642 2025年11月3日査読有り最終著者責任著者
Surface-Illuminated Near-Infrared Ge Photodetector on Si-on-Quartz Substrate with Extended Operating Wavelength

Ryoya Ogura, Koji Abe, Yuki Yoshino, Naoki Hamada, Jose A. Piedra-Lorenzana, Takeshi Hizawa, Toshimasa Umezawa, Naokatsu Yamamoto, Kouichi Akahane, Yasuhiko Ishikawa

Proceedings of the Opto-Electronics and Communications Conference (OECC) and Photonics Global Conference (PGC) 2025年6月査読有り最終著者責任著者
(Invited) High-Performance Ge/Si Electro-Absorption Optical Modulator and Its Highly-Efficient Photodetector Operation

Junichi Fujikata, Yasuhiko Ishikawa

ECS Meeting Abstracts MA2024-02(32) 2329-2329 2024年11月22日査読有り招待有り最終著者
Reduced Peripheral Leakage Current in Pin Photodetectors of Ge on n+-Si by P+ Implantation to Compensate Surface Holes.

Koji Abe, Mikiya Kuzutani, Satoki Furuya, Jose A. Piedra-Lorenzana, Takeshi Hizawa, Yasuhiko Ishikawa

IEICE Transactions on Electronics 107(9) 237-240 2024年9月査読有り最終著者責任著者
Mechanically Induced Optical Loss Mechanism due to Thermal Expansion Coefficient Mismatch in Micro-Cavities with All-Around Stressor Layers

Abdelrahman Al-Attili, Daniel Bur, Zuo Li, Naoki Higashitarumizu, Frederic Gardes, Yasuhiko Ishikawa, Shinichi Saito

APL Photonics 9(5) 2024年5月1日査読有り
Franz-Keldysh Effect in Lateral pin Photodetectors of Ge Strip on Si at C-, L- and U-Band Wavelengths

Shohei Kaneko, Jose A. Piedra-Lorenzana, Keisuke Yamane, Junichi Fujikata, Yasuhiko Ishikawa

IEEE International Conference on Group IV Photonics GFP 2024年4月査読有り最終著者責任著者
Trench-filling heteroepitaxy of [100]-oriented germanium arrays on (001) silicon substrate

Takumi Maeda, Kota Kato, Jose A. Piedra-Lorenzana, Takeshi Hizawa, Tetsuya Nakai, Yasuhiko Ishikawa

Japanese Journal of Applied Physics 63(3) 03SP29 2024年2月査読有り最終著者責任著者
Anti-relaxation of tensile lattice strain in Si-embedded Ge strip structure for photonic device applications

Joshua Chombo, Mohd Faiz Bin Amin, Jose A. Piedra-Lorenzana, Takeshi Hizawa, Keisuke Yamane, Mingjun Jiang, Donghwan Ahn, Kazumi Wada, Yasuhiko Ishikawa

Japanese Journal of Applied Physics 63(3) 03SP32 2024年2月査読有り最終著者責任著者
High-quality Ge epitaxial film based on dislocation trapping mechanism in patterned Si substrate

Mohd Faiz Bin Amin, Jose A. Piedra-Lorenzana, Keisuke Yamane, Takeshi Hizawa, Tetsuya Nakai, Yasuhiko Ishikawa

Japanese Journal of Applied Physics 63(2) 02SP78 2023年12月25日査読有り最終著者責任著者
High-performance Ge/Si electro-absorption optical modulator up to 85°C and its highly efficient photodetector operation

Junichi Fujikata, Masataka Noguchi, Riku Katamawari, Kyosuke Inaba, Hideki Ono, Daisuke Shimura, Yosuke Onawa, Hiroki Yaegashi, Yasuhiko Ishikawa

Optics Express 31(6) 10732-10732 2023年3月9日査読有り最終著者
Trench-Filling Epitaxy of Germanium on (001) Silicon Enhanced Using [100]-Oriented Patterns

Kota Kato, Kazuki Motomura, Jose A. Piedra-Lorenzana, Mohd Faiz Bin Amin, Takeshi Hizawa, Tetsuya Nakai, Yasuhiko Ishikawa

Journal of Electronic Materials 52(8) 5066-5074 2023年3月8日査読有り最終著者責任著者
Reduced Threading Dislocation Density in a Ge Epitaxial Film on a Submicron-Patterned Si Substrate Grown by Chemical Vapor Deposition

Mohd Faiz Bin Amin, Takeshi Hizawa, Jose A. Piedra-Lorenzana, Tetsuya Nakai, Yasuhiko Ishikawa

Journal of Electronic Materials 52(8) 5059-5065 2023年3月7日査読有り最終著者責任著者
High-speed photodetectors

Kazumi Wada, Jifeng Liu, Yasuhiko Ishikawa, Donghwan Ahn, Dong Pan, Pengfei Cai, Lionel Kimerling

Integrated Photonics for Data Communication Applications 123-157 2023年1月1日招待有り
Direct Bandgap Control by Narrowing the Germanium Strip Structure on Silicon for C+L Band Photonic Devices

Shuhei Sonoi, Riku Katamawari, Manami Shimokawa, Kyosuke Inaba, Jose A. Piedra-Lorenzana, Takeshi Hizawa, Junichi Fujikata, Yasuhiko Ishikawa

IEEE Journal of Quantum Electronics 58(5) 1-9 2022年10月1日査読有り最終著者責任著者
Reduced threading dislocation density in a germanium epitaxial film coalesced on an arrayed silicon-on-insulator strip

Mohd Faiz Bin Amin, Kazuki Motomura, Takeshi Hizawa, Jose A. Piedra-Lorenzana, Tetsuya Nakai, Yasuhiko Ishikawa

Japanese Journal of Applied Physics 61(9) 095506-095506 2022年9月1日査読有り最終著者責任著者
Chiral germanium micro-gears for tuning orbital angular momentum.

Abdelrahman Zaher Al-Attili, Daniel Burt, Zuo Li, Naoki Higashitarumizu, Frederic Gardes, Yasuhiko Ishikawa, Shinichi Saito

Scientific reports 12(1) 7465-7465 2022年5月6日査読有り
Low-Loss Hydrogen-Free SiN _x Optical Waveguide Deposited by Reactive Sputtering on a Bulk Si Platform

Rui Tsuchiya, Ryota Oyamada, Takaaki Fukushima, Jose A. Piedra-Lorenzana, Takeshi Hizawa, Tetsuya Nakai, Yasuhiko Ishikawa

IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 28(3) 1-9 2022年5月査読有り最終著者責任著者
A Near-Infrared pin Photodetector of Strain-Enhanced Ge Layer Epitaxially Grown on a Bonded Si-on-Quartz Wafer

Mikiya Kuzutani, Satoki Furuya, Jose Alberto Piedra Lorenzana, Takeshi Hizawa, Yasuhiko Ishikawa

ECS Transactions 109(4) 29-34 2022年査読有り最終著者責任著者

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MISC

292

Si上ひずみGe受光器の動作波長制御に向けたサブミクロン細線構造の最適化

宮坂泰地, CHOMBO Joshua, PIEDRA-LORENZANA Jose A., 石川靖彦

電子情報通信学会技術研究報告(Web) 125(42(ED2025 1-10)) 2025年最終著者責任著者
Si上Ge細線構造の格子ひずみに対するSiキャップ層の影響

松下宗暉, PIEDRA-LORENZANA Jose A., 飛沢健, 石川靖彦

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 86th 2025年最終著者責任著者
高濃度n型ドーピングに向けたIII/V族共添加Ge結晶の成長

石津岳, 古藤良翔, 母良田友, 川端勇士, 佐々木祐太, 石川靖彦, 山根啓輔

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 72nd 2025年
発光素子応用に向けたGaGeSb混晶の構造評価

母良田友, 古藤良翔, 石川靖彦, 山根啓輔

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 86th 2025年
Si基板上Ge層を用いたpin受光器の暗電流低減

阿部洸司, 小椋亮弥, 吉野雄貴, 浜田直希, PIEDRA-LORENZANA Jose A., 飛沢健, 石川靖彦

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 72nd 2025年最終著者責任著者
サブミクロン細線加工したSiO₂上Siスパッタ膜の結晶化における自己停止熱酸化プロセスの適用

内田和仁, PIEDRA-LORENZANA Jose A., 赤井大輔, 飛沢健, 石川靖彦

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 86th 2025年最終著者責任著者
ゲルマニウムを利用したシリコンフォトニクスデバイス技術

石川靖彦, 山根啓輔, 藤方潤一

電子情報通信学会技術研究報告(Web) 125(91(SDM2025 25-31)) 2025年招待有り筆頭著者責任著者
Si上Ge細線受光器の動作波長制御に向けたリセス構造の検討

宮坂泰地, CHOMBO Joshua, PIEDRA-LORENZANA Jose A., 飛沢健, 藤方潤一, 石川靖彦

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 86th 2025年最終著者責任著者
Si上Geエピタキシャル層を用いた表面入射型pin受光器の評価

小椋亮弥, 浜田直希, 松下宗暉, PIEDRA-LORENZANA Jose A., 飛沢健, 梅沢俊匡, 山本直克, 赤羽浩一, 石川靖彦

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 86th 2025年最終著者責任著者
シリコンフォトニクス応用に向けたSiN_x堆積膜の物性比較

久保主瑳, 岡垣颯, PIEDRA-LORENZANA Jose A., 石川靖彦

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 86th 2025年最終著者責任著者
発光デバイス応用に向けたHf Ge混晶の理論的検討

佐々木祐太, 久野倭, 石川靖彦, 山根啓輔

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 71st 2024年
シリコンフォトニクス応用に向けた窒化ゲルマニウム薄膜の反応性スパッタ堆積

岡垣颯, PIEDRA-LORENZANA Jose A., 飛沢健, 山根啓輔, 石川靖彦

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 85th 2024年最終著者責任著者
Si上Ge埋め込み成長におけるトレンチ側壁の傾斜効果

前田匠海, PIEDRA-LORENZANA Jose A., 山根啓輔, 飛沢健, 中井哲弥, 石川靖彦

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 85th 2024年最終著者責任著者
Siパターン基板上Geエピタキシャル層を用いた近赤外受光器

堤光輝, AMIN Mohd Faiz Bin, PIEDRA-LORENZANA Jose A., 飛沢健, 山根啓輔, 中井哲弥, 石川靖彦

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 85th 2024年最終著者責任著者
高濃度n型ドーピングに向けたP/Ga共添加Ge結晶の成長

石津岳, 古藤良翔, 母良田友, 石川靖彦, 山根啓輔

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 85th 2024年
引張格子ひずみを増強したGe層を用いたSi上フリースペース近赤外受光器の特性評価

阿部洸司, 葛谷樹矢, 古家聖輝, PIEDRA-LORENZANA Jose A., 飛沢健, 石川靖彦

映像情報メディア学会技術報告(Web) 48(3(IST2024 1-10)) 2024年最終著者責任著者
超高速EOポリマー/Siハイブリッド変調器およびGe受光器

藤方潤一, 石川靖彦, 横山士吉

電子情報通信学会技術研究報告(Web) 124(213(OCS2024 24-43)) 2024年招待有り
V溝パターンを形成したSi基板上へのGe層のエピタキシャル成長

AMIN Mohd Faiz Bin, PIEDRA-LORENZANA Jose A., YAMENE Keisuke, HIZAWA Takeshi, NAKAI Tetsuya, ISHIKAWA Yasuhiko

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 84th 2023年9月最終著者責任著者
Ge-on-SiフォトニックデバイスのためのAlNストレッサー層【JST・京大機械翻訳】

PIEDRA-LORENZANA Jose A., KANEKO Shohei, FUKUSHIMA Takaaki, YAMANE Keisuke, FUJIKATA Junichi, ISHIKAWA Yasuhiko

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 84th 2023年9月最終著者責任著者
Si上Ge埋め込みエピタキシャル成長におけるトレンチ幅の影響

前田匠海, 加藤滉大, PIEDRA-LORENZANA Jose A., 山根啓輔, 飛沢健, 中井哲弥, 石川靖彦

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 84th 2023年9月最終著者責任著者

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書籍等出版物

Integrated Photonics for Data Communication Applications (Integrated Photonics: Application-Specific Design and Manufacturing)

Kazumi Wada, Jifeng Liu, Yasuhiko Ishikawa, Donghwan Ahn, Dong Pan, Pengfei Cai, Lionel C. Kimerling (担当:共著, 範囲:4. High-speed photodetectors)

Elsevier 2023年8月10日 (ISBN: 0323912249)
次世代高速通信に対応する光回路実装、デバイスの開発

石川靖彦 (担当:分担執筆, 範囲:第5章シリコンフォトニクスの展望とデバイス応用、第5節シリコンフォトニクスにおけるゲルマニウム集積受光器技術)

技術情報協会 2022年11月30日
Photonics and Electronics with Germanium

Kazumi Wada, Kohei Yoshimoto, Yu Horie, Jingnan Cai, Peng Huei Lim, Hiroshi Fukuda, Ryota Suzuki, Yasuhiko Ishikawa (担当:共著, 範囲:10 Strained Ge for Si-Based Integrated Photonics)

Wiley-VCH, Weinheim 2015年5月
Silicon Photonics II (Topics in Applied Physics)

R. Ichikawa, S. Takita, Y. Ishikawa, K. Wada (担当:共著, 範囲:Chap. 5, Germanium as a material to enable silicon photonics)

Springer Verlag 2010年10月
Optical Interconnects - The Silicon Approach

K. Wada, J. F. Liu, S. Jongthammanurak, D. D. Cannon, D. T. Danielson, D. H. Ahn, S. Akiyama, M. Popovic, D. R. Lim, K. K. Lee, H. -C. Luan, Y. Ishikawa, J. Michel, H. A. Haus, L. C. Kimerling (担当:共著, 範囲:Chap. 11, Si Microphotonics for Optical Interconnection)

Springer Verlag 2006年
Silicon Nanoelectronics,

Michiharu Tabe, Hiroya Ikeda, Yasuhiko Ishikawa (担当:共著, 範囲:6 Resonant Tunneling in Si Nanodevices)

Tayler & Francis 2005年6月

講演・口頭発表等

446

固相成長法によるGeSnを用いたSWIR帯受光素子

董偉, 葛谷樹矢, 大藤和人, 藤原弘康, 伊藤将師, 小椋亮弥, 阿部洸司, 石川靖彦

第73回応用物理学会春季学術講演会 2026年3月16日
SOQ上ひずみ増強Geエピタキシャル層を用いた面入射型pin受光器における寄生抵抗低減

小椋亮弥, 濵田直希, 松下宗暉, Jose A. Piedra-Lorenzana, 飛沢健, 梅沢俊匡, 山本直克, 赤羽浩一, 石川靖彦

第73回応用物理学会春季学術講演会 2026年3月16日
新規Ge系バンドエンジニアリングに向けた InGeSb 混晶の作製と第一原理計算による評価

石津岳, 母良田友, 鈴木風雅, 石川靖彦, 山根啓輔

第73回応用物理学会春季学術講演会 2026年3月15日
Franz-Keldysh効果の評価に向けたSi基板上SiGe pin受光器の作製

矢野大輝, 小椋亮弥, Jose A. Piedra-Lorenzana, 赤井大輔, 飛沢健, 石川靖彦

第73回応用物理学会春季学術講演会 2026年3月15日
Si上Ge単一光子アバランシェダイオードの検討

濵田直希, 小椋亮弥, Jose A. Piedra-Lorenzana, 飛沢健, Chee Hing Tang, 石川靖彦

第73回応用物理学会春季学術講演会 2026年3月15日
シリコン・ゲルマニウム集積フォトニクス

石川靖彦

第4回豊橋技術科学大学次世代半導体・センサ科学研究所研究会 2026年2月2日招待有り
シリコンフォトニクス応用に向けたGaGeSb混晶のSb高組成化

母良田友, 石津岳, 鈴木風雅, 石川靖彦, 山根啓輔

第23回赤外放射応用関連学会等年会 2026年1月23日
Control of lattice strain in Si-capped Ge strip structure on Si for photonic device applications

Soki Matsushita, Joshua Chombo, Jose A. Piedra-Lorenzana, Takeshi Hizawa, Keisuke Yamane, Donghwan Ahn, Kazumi Wada, Yasuhiko Ishikawa

Photonic Device Workshop 2025 (PDW2025) 2025年12月11日
Trench-Filling Germanium Epitaxial Layers on Silicon for Surface-Illuminated Photodetectors

So Nozaki, Takumi Maeda, Jose A. Piedra-Lorenzana, Takeshi Hizawa, Tetsuya Nakai, Yasuhiko Ishikawa

10th International Conference on Silicon Epitaxy (ICSI) / 2025 International SiGe Technology and Device Meeting (ISTDM), 2025年11月12日
Strain-Engineered Ge Epitaxial Layers on Si for Photonic Device Applications

Yasuhiko Ishikawa, Keisuke Yamane, Junichi Fujikata

10th International Conference on Silicon Epitaxy (ICSI) / 2025 International SiGe Technology and Device Meeting (ISTDM), 2025年11月12日招待有り
Effect of Si Capping and Decapping on Lattice Strain in Submicron Ge Strip Structure on Si

Soki Matsushita, Joshua Chombo, Jose A. Piedra-Lorenzana, Takeshi Hizawa, Keisuke Yamane, Donghwan Ahn, Kazumi Wada, Yasuhiko Ishikawa

10th International Conference on Silicon Epitaxy (ICSI) / 2025 International SiGe Technology and Device Meeting (ISTDM), 2025年11月11日
SiNx Stressor for Extended Ge Photodetectors on Si

Yuki Yoshino, Jose A. Piedra-Lorenzana, Kakeru Oya, Daisuke Akai, Takeshi Hizawa, Yasuhiko Ishikawa

44th Electronic Materials Symposium (EMS44: 第44回電子材料シンポジウム) 2025年10月16日
Fabrication and characterization of III-V and graphene/III-V devices

Angel Leonardo Martinez Lopez, Jose Alberto Piedra Lorenzana, Julio Gregorio Mendoza Alvarez, Máximo López López, Yasuhiko Ishikawa, Yenny Lucero Casallas Moreno

XVIII International Conference on Surfaces, Materials and Vacuum (XVIII-ICSMV) 2025年9月
シリコンフォトニクス応用に向けたSiN_x堆積膜の物性比較

久保主瑳, 岡垣颯, PIEDRA-LORENZANA Jose A., 石川靖彦

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2025年9月9日
Si上Ge細線受光器の動作波長制御に向けたリセス構造の検討

宮坂泰地, CHOMBO Joshua, PIEDRA-LORENZANA Jose A., 飛沢健, 藤方潤一, 石川靖彦

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2025年9月9日
サブミクロン細線加工したSiO₂上Siスパッタ膜の結晶化における自己停止熱酸化プロセスの適用

内田和仁, PIEDRA-LORENZANA Jose A., 赤井大輔, 飛沢健, 石川靖彦

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2025年9月9日
Si上Geエピタキシャル層を用いた表面入射型pin受光器の評価

小椋亮弥, 浜田直希, 松下宗暉, PIEDRA-LORENZANA Jose A., 飛沢健, 梅沢俊匡, 山本直克, 赤羽浩一, 石川靖彦

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2025年9月8日
発光素子応用に向けたGaGeSb混晶の構造評価

母良田友, 古藤良翔, 石川靖彦, 山根啓輔

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2025年9月8日
Si上Ge細線構造の格子ひずみに対するSiキャップ層の影響

松下宗暉, PIEDRA-LORENZANA Jose A., 飛沢健, 石川靖彦

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2025年9月8日
Enhancement of B Diffusivity by Heavy P Doping in Ge-on-Si Film

Mingjun Jiang, Chanhyuk Park, Yasuhiko Ishikawa, Wada, Youngmin Kim, Donghwan Ahn

2025 Asia-Pacific Workshop on Advanced Semiconductor Devices (AWAD 2025) 2025年7月3日

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所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

動的バンドエンジニアリングによるシリコンフォトニクスデバイスの広帯域波長可変動作

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2025年4月 - 2030年3月

石川靖彦
ワンチップ型赤外線分析システムに向けたIII-IV-V族系発光素子材料の開拓

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2024年4月 - 2029年3月

山根啓輔, 石川靖彦
グラフェン/CNTハイブリッド素子とシリコンフォトニクスのヘテロ集積によるTHz-光融合

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2025年4月 - 2028年3月

藤方潤一, 岩崎拓哉, 石川靖彦, 高原淳一, 河野行雄
Novel group-IV nitride films by reactive sputtering as potential nonlinear optical materials in Si photonics

Japan Society for the Promotion of Science Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (C) 2023年4月 - 2026年3月
高品質グラフェンとシリコンフォトニクスのヘテロ集積によるTHz-光融合

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2024年4月 - 2025年3月

藤方潤一, 岩崎拓哉, 石川靖彦, 高原淳一, 河野行雄
高品質グラフェンとシリコンフォトニクスのヘテロ集積によるTHz-光融合

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2022年4月 - 2025年3月

藤方潤一, 岩崎拓哉, 石川靖彦, 高原淳一, 河野行雄
Si上に選択エピタキシャル成長したGe層に対するウエハ面内バンドエンジニアリング

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2021年4月 - 2024年3月

石川靖彦
表面プラズモン論理演算回路構成技術の創出

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 基盤研究(C) 2018年4月 - 2021年3月

福田光男, 石川靖彦
光信号の低コスト受信モニタリングのための小型光位相同期回路の研究開発

情報通信研究機構情報通信研究機構委託研究 2015年4月 - 2020年3月

太田裕之
バルクシリコンを用いたシリコン・ゲルマニウムフォトニクスプラットフォームの形成

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2016年4月 - 2019年3月

石川靖彦
極薄シリコン層上への低欠陥ゲルマニウムのエピタキシャル成長

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究挑戦的萌芽研究 2013年4月 - 2016年3月

石川靖彦
格子ひずみ制御によるシリコン上ゲルマニウム受発光デバイスの長波長動作

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2012年4月 - 2015年3月

石川靖彦
格子歪みを誘起したシリコン基板上への無転位ゲルマニウム層の形成

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究挑戦的萌芽研究 2011年 - 2012年

石川靖彦
シリコン上ゲルマニウムエピタキシャル層を用いた1. 5ミクロン帯発光素子の開拓

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2009年 - 2011年

石川靖彦, 志村考功, 和田一実, 近藤高志
ErドープSi量子井戸発光デバイスの開拓

日本学術振興会科学研究費補助金基盤研究(B) 2007年4月 - 2009年3月

石川靖彦
シリコンフォトニクスの嗅覚センサチップへの展開

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究挑戦的萌芽研究 2007年 - 2009年

石川靖彦, 和田一実
ErドープSi量子井戸発光デバイスの開拓

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2007年 - 2008年

石川靖彦, 和田一実, 上浦洋一, 和田一実, 上浦洋一
シリコン単電子デバイスの時空間輸送制御と新機能の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(S) 基盤研究(S) 2004年 - 2007年

田部道晴, 池田浩也, 小野行徳, 雨宮好仁, 石川靖彦, ラトノヌルヤディ
一次元トンネル接合列をもつSi単電子トランジスタの形成と電子輸送の制御

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2004年 - 2006年

石川靖彦, 田部道晴, 池田浩也
シリコン単電子デバイスによる単一イオンの動き検出

日本学術振興会科学研究費助成事業萌芽研究萌芽研究 2004年 - 2006年

田部道晴, 池田浩也, 前田正彦, 石川靖彦