講演・口頭発表等

2021年9月10日

Si上Geエピタキシャル層の高速トレンチ埋め込み成長

第82回応用物理学会秋季学術講演会
  • 本村一輝
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  • 加藤滉大
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  • Jose A. Piedra-Lorenzana、Mohd Faiz Bin Amin
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  • 飛沢健
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  • 中井哲弥
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  • 石川靖彦
記述言語
日本語
会議種別
口頭発表（一般）
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