講演・口頭発表等

2022年3月25日

Siパターン基板上へのGeエピタキシャル層のCVD成長

第69回応用物理学会春季学術講演会
  • Mohd Faiz Bin Amin
  • ,
  • Jose A. Piedra-Lorenzana
  • ,
  • 飛沢健
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  • 中井哲弥
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  • 石川靖彦

記述言語
日本語
会議種別
口頭発表(一般)