2022年3月25日 Siパターン基板上へのGeエピタキシャル層のCVD成長 第69回応用物理学会春季学術講演会 Mohd Faiz Bin Amin, Jose A. Piedra-Lorenzana, 飛沢健, 中井哲弥, 石川靖彦 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表(一般)