特許権 微細突起を有するシリコン微粒子の製造方法、及びシリコン微粒子 学校法人東京電機大学 佐藤慶介, 小林雅典, 中山文豪 出願番号 特願2018-192860 出願日 2018年10月11日 取得国 国内
