MISC

1996年9月

ポーラスシリコンおよびSiドープSiO₂薄膜内の欠陥構造 ESR評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

庄善之
佐藤慶介
岩瀬満雄
和泉富雄
野崎真次
森崎弘

巻: 57th
号: 2
開始ページ: 620
終了ページ
記述言語: 日本語
掲載種別

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J-GLOBAL: https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200902196138798775
URL: http://jglobal.jst.go.jp/public/200902196138798775

ID情報

J-Global ID : 200902196138798775

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