特許権 ポリシラン化合物の製造方法 出願番号 特願平10-201554 出願日 1998年7月16日 公開番号 特開2000-34351 公開日 2000年2月2日 特許番号/登録番号 特許2963996号 登録日 1999年8月13日 発行日 1999年8月13日