基本情報

所属
茨城大学 理工学研究科(工学野)機械システム工学領域 教授
(兼任) 大学院理工学研究科(工学野) 工学部知能システム工学科長
(兼任) 大学院理工学研究科(工学野) 工学部システム工学科長
(兼任) 社会連携センター 副センター長,産学連携イノベ部門長
(兼任) 大学院理工学研究科(工学野)
学位
工学修士(東北大学)
工学博士(東北大学)

研究者番号
90235705
J-GLOBAL ID
200901010946132385

外部リンク

(教員からのメッセージ)
当研究室(nLab)は,ものづくり・生産技術(Manufacturing and Production Engineering)関連の実学とその応用技術を開拓しています.特に微細・精密加工(Micro and Precision Engineering)に関する研究成果が国内外から高く評価されています.
現在は,(a)半導体・光学材料の完全表面創成, (b)バイオ・メカトロニクス,(c)ナノ微細加工,(d)プロセスのモデリング&シミュレーションの四分野における基礎および応用研究を精力的に取り組んでいます. また,地域活性化事業,産・学・官連携および学・学連携にも力を入れています.
人材と知財の創出を通して,社会発展に貢献することをnLabの活動方針としています.
(研究経歴)
1986-1991 超砥粒ホイールのツルーイングおよびドレッシング
1991-1995 セラミックスの超精密加工,超精密研削加工技術,球面/非球面創成
1995-1998 MEMS,CMP,マイクロEDM,ロボティックマシンニング,ジェットエンジンオーバーホール
1998-現在 半導体材料シリコンウエハの超精密加工,バイオエンジニアリング用マイクロマニピュレーションシステムの開発,マイクロ・ナノ加工技術,マイクロアクチュエータ/センサー,画像処理・制御

経歴

  4

学歴

  3

論文

  262

MISC

  33

書籍等出版物

  7

講演・口頭発表等

  14

社会貢献活動

  1