SAMUKAWA Seiji Last updated: Mar 19, 2019 at 15:18
Committee Memberships
Apr 1999
-
Mar 2001
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 副幹事長(1999-2001)
Apr 1994
-
Today
電気学会ドライプロセスシンポジウム 論文委員、運営委員
Apr 1997
-
Mar 2007
米国真空学会 Program committee, Executive committee
Apr 2013
-
Today
IEEE International NanoElectronics Conference 2014 Chair of Steering Committee
Apr 2013
-
Today
IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference International Advisory Committee
Awards & Honors
Dec 2018
IEEE Fellow, IEEE International Electron Device Meeting
Aug 2016
Best Paper Award, IEEE 16th International Conference on Nanotechnology
Winner: En-Tzu Lee, Shuichi Noda, Wataru Mizubayashi, Kazuhiko Endo, Seiji Samukawa
Nov 2015
Miniband Dependence on the Density of Ge/Si Quantum Dots for Solar Cell Application, International Electron Devices and Materials Symposium 2015 Best Paper Award, International Electron Devices and Materials Symposium 2015
Winner: Ming-Yi Lee, Yi-Chia Tsai, Yiming Li, Seiji Samukawa
Jun 2012
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) Senior Member, IEEE
Oct 2010
For ground-breaking contributions to the development of innovative plasma sources, American Vacuum Society Plasma Prize, American Vacuum Society
Published Papers
Atomic layer germanium etching for 3D Fin-FET using chlorine neutral beam
Daisuke Ohori, Takuya Fujii, Shuichi Noda, Wataru Mizubayashi, Kazuhiko Endo, En-Tzu Lee, Yiming Li, Yao-Jen Lee, Takuya Ozaki, Seiji Samukawa
37(2) Mar 2019 [Refereed]
塩島謙次, 末光哲也, 尾崎卓哉, 寒川誠二
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th ROMBUNNO.18p‐PA6‐4 Sep 2018
大堀大介, 寒川誠二, 寒川誠二
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th ROMBUNNO.18p‐431B‐9 Sep 2018
大堀大介, 久保山瑛哲, 山本淳, 村田正行, 遠藤和彦, 遠藤和彦, 寒川誠二, 寒川誠二, 寒川誠二
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th ROMBUNNO.20p‐211A‐13 Sep 2018
CHEN Yafeng, 木場隆之, 高山純一, 肥後昭男, 谷川智之, 寒川誠二, 村山明宏
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th ROMBUNNO.20p‐211A‐8 Sep 2018
Misc
OKADA Takeru, KALITA Golap, TANEMURA Masaki, YAMASHITA Ichiro, MEYYAPPAN M., SAMUKAWA Seiji
Proceedings. International Conference on Flow Dynamics (CD-ROM) 15th 208‐209 2018
LEE Ming‐Yi, LI Yiming, SAMUKAWA Seiji, SAMUKAWA Seiji
Proceedings. International Conference on Flow Dynamics (CD-ROM) 15th 198‐199 2018
ORIMO Shin‐ichi, SAMUKAWA Seiji
Proceedings. International Conference on Flow Dynamics (CD-ROM) 15th 194 2018
中性粒子ビームによる原子層加工・堆積プロセス
寒川誠二
光アライアンス 27(10) 28-34 Oct 2016
最先端微細加工技術～中性粒子ビームによる原子層レベル微細加工～
寒川誠二
光技術コンタクト 54 19-27 Apr 2016
中性粒子ビームプロセスによる原子層レベルの表面欠陥抑制と表面科学反応の制御 超低損傷プロセスによるインテリジェントナノプロセスの構築
寒川誠二
応用物理 83 894-899 Nov 2014
中性粒子ビーム加工プロセス技術による欠陥のないエッジ構造をもつグラフェンナノリボンの実現
寒川誠二
化学工業 2 36-39 Feb 2014
タンパク質と中性粒子ビーム加工技術の融合で変換効率40%超が可能な画期的太陽電池
寒川誠二
SMBCマネジメントプラス 2013(9月) 9-11 Aug 2013
高効率シリコン量子ドット太陽電池実現のための量子ナノ構造作製プロセ - エネルギー変換効率45%超太陽電池への期待 -
寒川誠二
未来材料 12 31-36 Dec 2012
ナノマテリアルの本質を導き出す超低損傷微細加工技術の開発
寒川誠二
日本MRSニュース 23 1 2011
材料の構造設計可能な低温・低損傷・中性粒子ビーム励起堆積技術
寒川誠二
応用物理 79 832-835 2010
MUKAI Tomonori, OHSHIMA Norikazu, HADA Hiromitsu, SAMUKAWA Seiji
Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials 2006 578-579 Sep 2006
IKOMA Toru, TAGUCHI Chihiro, FUKUDA Seiichi, ENDO Kazuhiko, WATANABE Heiji, SAMUKAWA Seiji
Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials 2006 448-449 Sep 2006
ENDO Kazuhiko, NODA Shuichi, MASAHARA Meishoku, KUBOTA Tomohiro, OZAKI Takuya, SAMUKAWA Seiji, LIU Yongxun, ISHII Kenichi, ISHIKAWA Yuki, SUGIMATA Etsuro, MATSUKAWA Takashi, TAKASHIMA Hidenori, YAMAUCHI Hiromi, SUZUKI Eiichi
Japanese journal of applied physics. Pt. 2, Letters 45(8) L279-L281 Mar 2006
損傷を抑える中性粒子ビーム加工、32nm以降のデバイス特性を改善
寒川誠二
日経マイクロデバイス 81-84 Feb 2006
NAKANO Toshiki, TAKAIRA Seiichi, KITAJIMA Takeshi, SAMUKAWA Seiji
IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials 125(1) 30-38 Jan 2005
Temporal variation of electron energy distribution through a pulsed inductively coupled nitrogen plasma is discussed by the temporally resolved measurements of optical emission spectroscopy and laser-induced fluorescence. The intense intensity pea...
寒川誠二
表面科学 25(10) 618-627 Oct 2004
プラズマのメカニズム極めて、新材料メモリー、CCDの課題を克服
寒川誠二
日経マイクロデバイス 87-94 May 2004
寒川誠二
応用物理学会誌 72(12) 1536-1540 Dec 2003
TSUDA Ken-ichiro, KAZUMI Hideyuki, NAKANO Toshiki, SAMUKAWA Seiji
The Transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A 122(4) 357-360 Apr 2002
プラズマエッチングと電子エネルギー分布関数
寒川誠二
核融合学会誌 Jul 2001
寒川誠二
応用物理学会誌 433-438 Apr 2001
New Radical-Injection Method for High-Performance Dielectric Etching
Seiji Samukawa, Kenichiro Tsuda and Tomonori Mukai
NEC Research & Development 42(1) Jan 2001
NAKANO Toshiki, TAKAIRA Seiichi, SAMUKAWA Seiji
電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2000(80) 25-30 Sep 2000
MUKAI Tomonori, SAMUKAWA Seiji, TSUDA Ken-ichiro
電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 1999(148) 85-90 Oct 1999
NAKANO T., KITAJIMA T., TAKAIRA S., KAWASASKI M., SAMUKAWA S.
電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集 = Proceeding of Annual Conference of Fundamentals and Materials Society, IEE Japan 1999 Sep 1999
SAMUKAWA Seiji, OHTAKE Hiroto, NOGUCHI Ko
Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials 1998 20-21 Sep 1998
UHFプラズマ
寒川誠二
核融合学会誌 354-360 Apr 1998
NAKANO Toshiki, SAMUKAWA Seiji
電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 1997(70) 1-6 Aug 1997
寒川誠二
応用物理学会誌 550-558 Jun 1997
寒川誠二
電気学会誌 98-102 Feb 1997
New UHF Plasma Discharge for Large-Scale Etching Processes
Seiji Samukawa and Toshiki Nakano
NEC Research & Development 37(3) Jul 1996
SAMUKAWA Seiji
半導体・集積回路技術シンポジウム講演論文集 50 88-93 May 1996
Pulse-Time-Modulated ECR Plasma Discharge for Highly Selective, Highly Anisotropic and Charge-Free Etching
Seiji Samukawa, Hiroto Ohtake and Tetsu Mieno
NEC Research & Development 37(2) Apr 1996
Nano-Electron-Beam Lithography System and Its Application for 40-nm Gate MOSFETs
Yukinori Ochiai, Shoko Manako, Seiji Samukawa, Kiyoshi Takeuchi and Toyoji Yamamoto
NEC Research & Development 37(2) Apr 1996
タイムモジュレーションプラズマによる高精度エッチング
寒川誠二
核融合学会誌 690-696 Aug 1995
Books etc
Intelligent Nanosystems for Energy, Information and Biological Technologies
Sone Jun’ichi, Sawada Kazuaki, Urisu Tsuneo, Shimizu Hisashi, Kawada Jiro, Ono Takao, Uraoka Yukiharu, Samukawa Seiji, Tsujii Yoshinobu, Higuchi Masayoshi, (Part:Joint Work, 145-167, 169-192)
Springer Oct 2016
Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System
Seiji Samukawa
Springer Jan 2014
新版 ULSIデバイス・プロセス技術
菅野 卓雄 監修・伊藤 隆司 編著 (Part:Joint Work, ?)
コロナ社 May 2013
Conference Activities & Talks
7th International Conference on Advanced Plasma Technologies(ICAPT-7) [Invited]
SAMUKAWA Seiji
26 Feb 2019
International Workshop on Plasma and Bionano Devices
International Workshop on Plasma and Bionano Devices 14 Nov 2018
The 7th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP 2018) [Invited]
SAMUKAWA Seiji
The 7th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP 2018) 24 Jul 2018
Collaborative Conference on Materials Research (CCMR) 2018
SAMUKAWA Seiji
Collaborative Conference on Materials Research (CCMR) 2018 25 Jun 2018
Atomic layer defect-free etching technology and its appolication for high performance GaN HEMT
SAMUKAWA Seiji、ONO, Takahito
24 May 2018
Research Grants & Projects
バイオテクノロジーとナノテクノロジーの融合による革新的デバイス開発
R and D Consignment Program
Project Year: Apr 2004 - Today
Atom and Molecules Degital Processes
Project Year: Jul 2000 - Today
Study on Precise Plasma Processes
Project Year: Jul 2000 - Today
高精度プラズマプロセス用オンウエハーモニタリング
Project Year: Apr 2001 - Mar 2006
Patents
201539575 : 成膜方法及び熱処理装置
寒川誠二
WO2015/136743 : 低誘電率膜
寒川誠二
WO2015/129413 : 遷移金属膜の酸化処理方法および酸化処理装置
WO2015/108065 : 成膜方法及び熱処理装置
2015/0197853 : 基板処理装置
寒川誠二
Social Contribution
セミコン・ジャパン2014に出展
[Others] 3 Dec 2016 - 5 Dec 2016
ナノマイクロクラスターとしてのブース出展
16th IEEE Nano 2016に出展
[Others] 22 Aug 2016 - 25 Aug 2016
ナノマイクロクラスターとしてのブース出展
「地球の未来を拓くグリーンナノテクノロジー」
[Others] 1 Aug 2016 - 3 Aug 2016
「ナノ流動特論」の公開講座として開講
nano tech 2016 第15回 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議に出展
[Others] 27 Jan 2016 - 29 Jan 2016
ナノマイクロクラスターとしてのブース出展
セミコン・ジャパン2014に出展
[Others] 3 Dec 2014 - 5 Dec 2014
ナノマイクロクラスターとしてのブース出展
Others
May 2016 半導体デバイスプロセス用ガスケミストリーの研究開発
半導体デバイスプロセス用ガスケミストリーの研究開発
Jun 2015 GaN系デバイスのエッチング技術に関する研究
Apr 2015 F2,C12,HBr,BC13及びHC1ガスを用いた微細加工技術の研究
F2,C12,HBr,BC13及びHC1ガスを用いた微細加工技術の研究
Apr 2015 「最先端電池基盤技術の創出」コンソーシアム
ifs.tohoku.ac.jp