産業財産権

特許権

中性粒子照射型CVD装置

株式会社半導体理工学研究センター
  • 寒川誠二
    • ,
  • 安原重雄
    • ,
  • 門村新吾
    • ,
  • 島山努
    • ,
  • 矢野尚
    • ,
  • 田島邦敏
    • ,
  • 松永範昭
    • ,
  • 吉丸正樹
出願番号
特願2011-004981
出願日
2011年1月13日
公開番号
特開2012-144786
公開日
2012年8月2日
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